[發(fā)明專利]光阻膜厚測(cè)量方法及光阻膜厚測(cè)量裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610898515.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-10-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106370117A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉學(xué)敏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/06 | 分類號(hào)： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝傳鑫,熊永強(qiáng) |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市武*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光阻膜厚 測(cè)量方法 測(cè)量 裝置 | ||
【說(shuō)明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于武漢華星光電技術(shù)有限公司，未經(jīng)武漢華星光電技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610898515.7/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 一種對(duì)H型鋼形位變形量的測(cè)量裝置及其測(cè)量方法
- 用于測(cè)量電容的方法
- 車距測(cè)量方法及裝置、車輛相對(duì)速度測(cè)量方法及裝置
- 一種長(zhǎng)波ASF測(cè)量方法
- 輸電桿塔基礎(chǔ)地基破裂面的簡(jiǎn)易測(cè)量方法
- 墨滴體積的校準(zhǔn)方法及其校準(zhǔn)系統(tǒng)、打印設(shè)備
- 車距測(cè)量方法及裝置、車輛相對(duì)速度測(cè)量方法及裝置
- 金屬鍍層厚度的測(cè)量方法
- 聲波測(cè)量裝置及聲波測(cè)量裝置的工作方法
- 一種鋼-混組合結(jié)構(gòu)相對(duì)滑移量測(cè)量裝置及測(cè)量方法
- 測(cè)量設(shè)備、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量配件和測(cè)量方法
- 測(cè)量尺的測(cè)量組件及測(cè)量尺
- 測(cè)量輔助裝置、測(cè)量裝置和測(cè)量系統(tǒng)
- 測(cè)量觸頭、測(cè)量組件和測(cè)量裝置
- 測(cè)量觸頭、測(cè)量組件和測(cè)量裝置
- 測(cè)量容器、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量系統(tǒng)、測(cè)量程序以及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量電路、測(cè)量方法及測(cè)量設(shè)備
