[發明專利]晶圓清洗機的防噴濺裝置

在審

• 申請號: 201610891936.7
• 申請日: 2016-10-13
• 公開（公告）號: CN107154367A
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發明（設計）人: 鄧志明;陳紹禹;呂信寬
• 申請（專利權）人: 億力鑫系統科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司11355
• 代理人: 張雅軍

1.一種晶圓清洗機的防噴濺裝置，該晶圓清洗機包含一晶圓承載裝置及一圍繞設置于該晶圓承載裝置的周壁，該晶圓承載裝置包括一承載吸盤，該防噴濺裝置罩設于該晶圓承載裝置外周圍，其特征在于，該防噴濺裝置包含：

一屏蔽單元，呈圓筒狀并罩設于該晶圓承載裝置外周圍，該屏蔽單元包括一頂端，該屏蔽單元可相對于該晶圓承載裝置在一收合狀態及一展開狀態之間變換，在該收合狀態時，該屏蔽單元的該頂端與該晶圓承載裝置的該承載吸盤頂面相間隔一第一距離，在該展開狀態時，該屏蔽單元的該頂端與該晶圓承載裝置的該承載吸盤頂面相間隔一第二距離，該第二距離大于該第一距離；及

一驅動機構，與該屏蔽單元相連接用以驅動該屏蔽單元在該收合狀態及該展開狀態之間變換。

2.如權利要求1所述的晶圓清洗機的防噴濺裝置，其特征在于，該屏蔽單元包括一內屏蔽及一外屏蔽，該內屏蔽呈圓筒狀并罩設于該晶圓承載裝置外周圍，該內屏蔽具有一上端及一下端，該外屏蔽呈圓筒狀并具有該頂端，該驅動機構與該外屏蔽相連接用以帶動其上升或下降，在該收合狀態時，該外屏蔽是罩設于該內屏蔽外周圍，該內屏蔽的該下端間隔位于該晶圓承載裝置的該承載吸盤頂面下方一段距離，在該展開狀態時，該外屏蔽凸伸出該內屏蔽的該上端，該內屏蔽保持不動。

3.如權利要求2所述的晶圓清洗機的防噴濺裝置，其特征在于，該屏蔽單元更包括多個環設于該內屏蔽外側且彼此相間隔的連接件，該外屏蔽具有一相反于該頂端用以抬升所述連接件的環形凸緣，當該屏蔽單元由該收合狀態變換至該展開狀態的過程中，該外屏蔽的該環形凸緣透過所述連接件將該內屏蔽向上抬升，使該內屏蔽的該上端間隔位于該晶圓承載裝置的該承載吸盤頂面上方一段距離。

4.如權利要求3所述的晶圓清洗機的防噴濺裝置，其特征在于，該內屏蔽包括一筒形圍繞壁，及一形成于該筒形圍繞壁頂端的錐形圍繞壁，該筒形圍繞壁界定該下端，該錐形圍繞壁界定該上端，該錐形圍繞壁形成有一位于該上端的開口，該錐形圍繞壁的一外徑大于該開口的一口徑，所述連接件連接于該筒形圍繞壁頂端。