[發(fā)明專利]檢查裝置、減壓干燥裝置和減壓干燥裝置的控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610881393.0
• 申請日: 2016-10-09
• 公開（公告）號: CN106935734B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設計）人: 佐田徹也;佐竹順;植田稔彥;西山淳
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/66
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發(fā)明提供一種檢查裝置、減壓干燥裝置和減壓干燥裝置的控制方法，能夠在早期檢測基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)。一種實施方式的檢查裝置包括拍攝部和干燥狀態(tài)檢測部。拍攝部對基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域進行拍攝。干燥狀態(tài)檢測部基于由拍攝部所拍攝的涂敷區(qū)域的色濃度來檢測涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)。

技術領域

本發(fā)明的實施方式涉及檢查裝置、減壓干燥裝置和減壓干燥裝置的控制方法。

背景技術

在現有技術中，公知的是利用了有機EL(Electroluminescence：電致發(fā)光)發(fā)光的發(fā)光二極管即有機發(fā)光二極管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用了有機發(fā)光二極管的有機EL顯示器不僅薄型輕量且低耗電，而且具有在響應速度和視角以及對比度方面優(yōu)異這樣的優(yōu)點。因此，近年來作為下一代的平板顯示器(FPD)受到關注。

有機發(fā)光二極管具有在基板上的陽極與陰極之間夾著有機EL層的構造。有機EL層例如從陽極側起依次層疊空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層而形成。在這樣的層疊結構中，例如空穴注入層、空穴輸送層和發(fā)光層分別通過在基板上以噴涂方式涂敷有機材料，并在減壓環(huán)境下使涂敷有有機材料的基板干燥來形成(例如參照專利文獻1)。

但是，上述的直至干燥完成的干燥時間例如根據被涂敷在基板的有機材料的種類和量、基板的表面狀態(tài)等各種因素而發(fā)生變化。因此，例如在量產有機發(fā)光二極管的情況下，需要事先設定最佳的干燥時間的工作。

在現有技術中，例如，將進行干燥處理的時間一點一點改變的同時制作大量的樣品，測量所制作的樣品的各層的膜厚和光學特性。然后，在得到了良好的測定結果的樣品的情況下，斷定為可靠地完成了干燥，將對這樣的樣品所進行的干燥處理的時間設定為最佳的干燥時間。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-181079號公報

發(fā)明內容

發(fā)明想要解決的技術問題

但是，在現有技術中，因為通過在樣品做成后測量膜厚和光學特性，檢測基板的干燥狀態(tài)，所以需要較多的時間。因此，在現有技術中，對于在早期檢測基板的干燥狀態(tài)方面還有改善的余地。

實施方式的一個方式的目的在于，提供一種能夠在早期檢測在基板涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)的檢查裝置、減壓干燥裝置和減壓干燥裝置的控制方法。

用于解決技術問題的技術方案

實施方式的一個方式的檢查裝置具有拍攝部和干燥狀態(tài)檢測部。拍攝部拍攝在基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域。干燥狀態(tài)檢測部基于由上述拍攝部拍攝的上述涂敷區(qū)域的色濃度來檢測上述涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)。

發(fā)明效果

根據實施方式的一個方式，能夠在早期檢測出基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)。

附圖說明

圖1是表示有機發(fā)光二極管的構成的概況的示意截面圖。

圖2是表示有機發(fā)光二極管的堤的構成的概括的示意平面圖。

圖3是表示有機發(fā)光二極管的制造方法的主要的步驟的流程圖。

圖4是表示本實施方式的基板處理系統的構成的概括的示意平面圖。

圖5A是表示涂敷有用于形成空穴注入層的有機材料的基板的示意截面圖。

圖5B是表示在減壓干燥裝置中被減壓干燥后的基板的示意截面圖。

圖6A是表示涂敷有用于形成空穴輸送層的有機材料的基板的示意截面圖。