[發(fā)明專利]檢查裝置、減壓干燥裝置和減壓干燥裝置的控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610881393.0
• 申請日: 2016-10-09
• 公開（公告）號: CN106935734B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佐田徹也;佐竹順;植田稔彥;西山淳
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/66
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種檢查裝置，其特征在于，包括：

對基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域進行拍攝的拍攝部；

干燥狀態(tài)檢測部，其基于由所述拍攝部拍攝的所述涂敷區(qū)域的色濃度來檢測所述涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)；和

判斷部，其計算出表示所述涂敷區(qū)域的色濃度的變化的值，并判斷所述計算出的值是否在預先設(shè)定的規(guī)定范圍內(nèi)，

在由所述判斷部判斷為所述計算出的值在所述規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，所述干燥狀態(tài)檢測部檢測出所述涂敷區(qū)域已成為干燥了的狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于：

所述色濃度包括紅色濃度、綠色濃度和藍色濃度，

所述干燥狀態(tài)檢測部依照所述涂敷區(qū)域的種類選擇所述紅色濃度、所述綠色濃度和所述藍色濃度中的至少一種色濃度，基于所述選擇的色濃度來檢測所述干燥狀態(tài)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于：

所述干燥狀態(tài)檢測部基于所述涂敷區(qū)域中多個部位的色濃度來檢測所述干燥狀態(tài)。

4.如權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于：

所述拍攝部配置成其光軸相對于所述涂敷區(qū)域傾斜。

5.如權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于：

包括配置于所述拍攝部與所述基板的所述涂敷區(qū)域之間的偏振濾光片。

6.一種減壓干燥裝置，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1～5中任一項所述的檢查裝置；

用于收納所述基板的腔室；和

對所述腔室內(nèi)進行減壓的減壓機構(gòu)。

7.如權(quán)利要求6所述的減壓干燥裝置，其特征在于：

包括設(shè)置在所述腔室的窗部，

所述拍攝部隔著所述窗部對所述涂敷區(qū)域進行拍攝。

8.如權(quán)利要求6所述的減壓干燥裝置，其特征在于，包括：

保持所述基板的保持部；

使所述保持部升降的升降部；和

依照所述檢測出的干燥狀態(tài)控制所述升降部來使所述保持部升降的升降控制部。

9.一種減壓干燥裝置的控制方法，其特征在于，包括：

對基板中涂敷有有機材料的涂敷區(qū)域進行拍攝的拍攝步驟；

基于在所述拍攝步驟中所拍攝的所述涂敷區(qū)域的色濃度來檢測所述涂敷區(qū)域的干燥狀態(tài)的干燥狀態(tài)檢測步驟；和

干燥時間設(shè)定步驟，基于在所述干燥狀態(tài)檢測步驟中所檢測出的所述干燥狀態(tài)，設(shè)定將收納所述基板的腔室內(nèi)減壓來進行干燥的干燥時間。