[發明專利]一種密舟多晶硅太陽能電池的擴散工藝

有效

• 申請號: 201610874557.7
• 申請日: 2016-09-30
• 公開（公告）號: CN106449874B
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 任哲;成文;劉文峰;郭進;姬常曉
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223;H01L31/068
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008
• 代理人: 周長清,張鮮

1.一種密舟多晶硅太陽能電池的擴散工藝，包括以下步驟：

(1)升溫：將密舟承載的多晶硅片送入擴散爐中，溫度升至780℃～800℃；

(2)氧化：溫度穩定在780℃～800℃，將管內壓力抽至120mbar～220mbar，以200sccm～500sccm的速率通入氧氣，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入時間為4min～8min；

(3)擴散：溫度穩定在780℃～800℃，管內壓力穩定在120mbar～220mbar，以150sccm～220sccm的速率通入小氮，以200sccm～500sccm的速率通入氧氣，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入時間為8min～15min；

(4)高溫推進：將溫度升至820℃～840℃，管內壓力穩定在120mbar～220mbar，以200sccm～500sccm的速率通入氧氣，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入時間為8min～15min；

(5)洗氣：洗氣過程為：保持溫度不變，將管內壓力升至常壓，然后再抽至300～500mbar，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入時間為100s；以所述洗氣過程為一個洗氣周期進行重復洗氣；

(6)退火：將管內壓力恢復常壓，降溫處理后將多晶硅片取出。

2.根據權利要求1所述的密舟多晶硅太陽能電池的擴散工藝，其特征在于，所述密舟承載的多晶硅片的片間距為2mm～2.5mm，密舟一次承載的多晶硅片數量為800片～1200片。

3.根據權利要求1或2所述的密舟多晶硅太陽能電池的擴散工藝，其特征在于，所述多晶硅片為P型多晶硅片，所述P型多晶硅片的電阻率為1Ω·cm～3Ω·cm，厚度為150μm～200μm。