[發(fā)明專利]用于等離子體處理裝置的阻抗匹配的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610873947.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-09-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106941067B | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 永海幸一;梅原直征;山田紀(jì)和 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳;梁霄穎 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 等離子體 處理 裝置 阻抗匹配 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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