[發明專利]用于等離子體處理裝置的阻抗匹配的方法有效
| 申請號： | 201610873947.2 | 申請日： | 2016-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN106941067B | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發明（設計）人： | 永海幸一;梅原直征;山田紀和 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳;梁霄穎 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 等離子體 處理 裝置 阻抗匹配 方法 | ||
【權利要求書】：
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