[發明專利]抗蝕層的薄膜化裝置有效
| 申請號： | 201610867740.4 | 申請日： | 2016-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN106900141B | 公開（公告）日： | 2020-11-17 |
| 發明（設計）人： | 豐田裕二;后閑寬彥;中川邦弘 | 申請（專利權）人： | 三菱制紙株式會社 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;傅永霄 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕層 薄膜 化裝 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗蝕層的薄膜化裝置，該抗蝕層的薄膜化裝置具備：薄膜化處理單元，借助薄膜化處理液使形成于基板上的抗蝕層中的成分膠束化；膠束除去處理單元，借助膠束除去液除去膠束；
所述抗蝕層的薄膜化裝置的特征在于，
膠束除去處理單元具有pH傳感器以及酸性溶液添加用泵，
該pH傳感器被設置于能監視膠束除去液的pH的位置，
酸性溶液添加用泵被設置于在膠束除去液的pH上升時能將酸性溶液添加到膠束除去液中的位置，
酸性溶液添加用泵在膠束除去液的實際pH值pH-M為pH-A以上時將酸性溶液添加到膠束除去液中，
pH-M時的酸性溶液添加用泵的實際輸出OP-M由pH-A時的酸性溶液添加用泵的輸出OP-A與膠束除去液的pH的控制目標值pH-B時的酸性溶液添加用泵的輸出OP-B之間的比例控制確定，
并且，OP-M相對于酸性溶液添加用泵的最大輸出OP-X為10%以上50%以下，其中，pH-ApH-B，OP-A≤OP-M≤OP-B。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于三菱制紙株式會社，未經三菱制紙株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610867740.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種具有拼裝式母線橋架的高壓開關柜
- 下一篇：一種便于檢修的防撞配電柜
