[發明專利]電子部件用多層布線膜以及覆蓋層形成用濺射靶材

有效

• 申請號: 201610866976.6
• 申請日: 2016-09-29
• 公開（公告）號: CN107039097B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 村田英夫
• 申請（專利權）人: 日立金屬株式會社
• 主分類號: H01B1/02
• 分類號: H01B1/02;H01B5/14;C23C14/35;C23C14/18
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

提供電子部件用多層布線膜以及覆蓋層形成用濺射靶材，其具有由Al或Al合金形成的導電層以及覆蓋該導電層的至少一側的新型的覆蓋層，其在確保密合性、耐腐蝕性、抗氧化性的同時，能夠穩定地進行高精度的濕式蝕刻。電子部件用多層布線膜，其具有由Al或Al合金形成的導電層以及覆蓋該導電層的至少一側的面的覆蓋層，前述覆蓋層含有選自Mn和Cu中的一種以上元素以及30～75原子％的Ni，余量由Mo和不可避免的雜質組成；以及覆蓋層形成用濺射靶材，其含有選自Mn和Cu中的一種以上元素以及30～75原子％的Ni，余量由Mo和不可避免的雜質組成。

技術領域

本發明涉及可適用于例如觸摸面板等的電子部件用多層布線膜以及用于形成該電子部件用多層布線膜的覆蓋導電層的覆蓋層的濺射靶材。

背景技術

近年來，在玻璃基板上形成薄膜元件的液晶顯示器(Liquid Crystal Display：以下，稱為“LCD”)、有機EL顯示器、電子紙等中使用電泳顯示器等平面顯示裝置(平板顯示器，Flat Panel Display：以下，稱為“FPD”)中組合了邊看其畫面邊能夠賦予直接的操作性的觸摸面板的、作為新型的便攜式終端設備的智能手機、平板電腦等被產品化。

對于作為這些觸摸面板的位置檢測電極的傳感膜，通常使用作為透明導電膜的銦-錫氧化物(Indium Tin Oxide：以下，稱為“ITO”)。而且，對于其橋式布線、引出布線，使用作為具有更低電阻值(以下，稱為低電阻)的金屬布線膜的、例如將導電層的Al或Al合金與作為覆蓋層的純Mo、Mo合金層疊的多層布線膜。

作為形成上述多層布線膜的方法，使用了濺射靶材的濺射法是最合適的。濺射法是物理蒸鍍法的一種，與其它的真空蒸鍍、離子電鍍相比，是能夠容易地成膜為大面積的方法并且是組成變化小、能夠得到優異的薄膜層的有效的方法。另外，是對基板的熱影響也小、還能夠適用于樹脂薄膜基板的方法。

作為改善純Mo的特性的方法，本發明人提出了耐腐蝕性、耐熱性、與基板的密合性優異的、低電阻的、Mo中添加了3～50原子％的V、Nb的Mo合金膜(參照專利文獻1)。

另外，本發明人提出了，將由Al形成的導電層以及作為覆蓋層的含有7～30原子％的選自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Cu、Si、Ge中的1種或2種以上元素的面心立方晶格結構的Ni合金組合到基底膜中，從而能夠抑制Al的小丘、提高耐熱性。(參照專利文獻2)。

進而，本發明人提出了，對以Al為主要成分的導電層采用、以Mo_100-x-y-Ni_x-Ti_y(10≤x≤30，3≤y≤20)所示的Mo合金作為覆蓋層，從而通過Mo、Mo-Nb而能夠改善抗氧化性、耐濕性(參照專利文獻3)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-190212號公報

專利文獻2：日本特開2006-279022號公報

專利文獻3：日本特開2013-60655號公報

發明內容

發明要解決的問題

為了智能手機、平板電腦等便攜終端設備的薄型化，上述觸摸面板的基板采用玻璃基板以及能夠進一步薄型化的樹脂薄膜基板的方式，對于上述覆蓋層還需要與樹脂薄膜基板的密合性。

另外，作為家用電器的烹飪家電的操作面板、遙控器等被濕手操作，或者工業設備、車載設備的操作面板在高溫高濕下被操作，而且與便攜終端設備相比被更長期地使用。尤其，車載設備在人不操作期間也停在屋外，還會在高熱狀況、極寒狀況下被長期放置，因此對于多層布線膜要求進一步提高高耐腐蝕性。