[發(fā)明專利]位置檢測裝置、位置檢測方法、信息處理程序及記錄介質(zhì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610864540.3
• 申請日: 2016-09-29
• 公開（公告）號: CN107066638B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 湊善久;服部宏祐;木內(nèi)豊;赤塚祐己
• 申請（專利權(quán)）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G06F30/33
• 分類號: G06F30/33;H01L21/66
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 崔炳哲

本發(fā)明涉及位置檢測裝置、位置檢測方法、信息處理程序及記錄介質(zhì)，對假設(shè)驗證型的位置檢測裝置，提高包含異常檢測值的情況下的魯棒性，且兼得高推定精度和推定處理速度的高速化。圖像處理裝置(10)僅將對平面圖形(I50)中心位置的計算值(點H1及H2)中的接近臨時中心(PP1)的計算值作為基于多個檢測點(D51～Dn)進行評價(驗證)的對象。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加工處理等的對象物即半導(dǎo)體晶圓等的位置檢測裝置等。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶圓的制造等的制造現(xiàn)場，對加工、檢查等的對象物的定位是基本技術(shù)，作為求出該對象物的圖形中心等位置等有關(guān)的參數(shù)的技術(shù)，已知有能夠期待高精度推定的假設(shè)驗證型擬合技術(shù)。

例如，在下述專利文獻1中，作為假設(shè)驗證型擬合技術(shù)，即在根據(jù)晶圓外周計算出晶圓中心位置的情況下，避免因晶圓外周位置的誤識別而錯誤地算出晶圓中心位置的技術(shù)，公開了：

對晶圓外周的四點以上的位置坐標進行檢測(四個以上的檢測點的檢測)，根據(jù)檢測到的外周邊緣的多個位置坐標值，求出三點(三個選擇點)位置坐標的所有組合，并對各個組合算出中心位置(作為計算值的中心位置)的坐標，接著算出所算出的多個中心位置坐標的偏差，如果所算出的偏差在規(guī)定的閾值以內(nèi)，則判斷為正常地識別了邊緣，由此避免因圖像處理誤識別而錯誤地算出晶圓中心位置。

專利文獻1：(日本)特開2011－249572號公報(2011年12月8日公開)

但是，所述現(xiàn)有技術(shù)存在如下問題：在充分確保所述檢測點的數(shù)量而增加了計算值(假設(shè))的數(shù)量的情況下，驗證處理所需的時間變長，相反，在減少所述檢測點的數(shù)量而減少驗證對象(評價對象)即計算值的數(shù)量的情況下，推定精度下降。

另外，上述的現(xiàn)有技術(shù)中還存在如下問題：在異常檢測點存在的情況下，基于多個假設(shè)(算出的多個中心位置)的推定結(jié)果的偏差增大，處理有可能停止。另外，當(dāng)要減小處理停止的概率時，不得不容許混入某種程度的偏差(精度差的推定值)，采用所有假設(shè)的平均的現(xiàn)有方法存在最終輸出精度降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，提供對測量誤差及周邊的噪聲引起的異常檢測點實現(xiàn)高的魯棒性(Robustness)，且兼得高推定精度和推定處理速度的高速化的假設(shè)驗證型的位置檢測裝置、位置檢測系統(tǒng)、位置檢測裝置的控制方法及程序。

為解決上述問題，本發(fā)明一方面提供一種位置檢測裝置，其具備：計算部，其根據(jù)由有關(guān)二維或三維的圖形的多個檢測點選擇的選擇點的多個組合分別算出有關(guān)定義該圖形的參數(shù)的計算值；提取部，其僅提取所述計算部算出的多個所述計算值中的、通過與基于所述計算部的所述計算值的計算方法不同的方法對定義所述圖形的參數(shù)推定的值或與值的范圍即暫定參數(shù)的關(guān)系在規(guī)定范圍內(nèi)的計算值；確定部，其由所述提取部所提取的計算值中確定基于所述多個檢測點的評價最高的計算值作為有關(guān)定義所述圖形的參數(shù)的推定值。

根據(jù)所述的構(gòu)成，所述位置檢測裝置僅對根據(jù)所述選擇點的多個組合分別算出的多個計算值中的、與所述暫定參數(shù)的關(guān)系在規(guī)定范圍內(nèi)的計算值進行基于所述檢測點的評價(驗證)。因此，所述位置檢測裝置通過消除精度降低了的假設(shè)的影響而能夠輸出可根據(jù)檢測點群推定的最佳的結(jié)果，并且能夠維持與對根據(jù)所述選擇點的多個組合分別算出的所有的計算值進行所述評價的情況相同的高的推定精度，且與對該所有的計算值進行所述評價相比，可以使處理高速化。即，所述位置檢測裝置實現(xiàn)下述效果：實現(xiàn)相對于測量誤差及周邊的噪聲引起的異常檢測點的高的魯棒性(Robustness)，且兼得高的推定精度和推定處理速度的高速化。

優(yōu)選的是，所述圖形為要通過自裝置特定所述參數(shù)的對象物的拍攝圖像及測量值中的至少一方。