[發明專利]一種生產線設備的調度方法和裝置

有效

• 申請號: 201610861929.2
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN107871194B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 張善貴
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 趙娟

1.一種生產線設備的調度方法，其特征在于，所述生產線設備包括一個或多個功能模塊，所述功能模塊具有對應的任務序列，所述任務序列中包括一個或多個任務，所述的方法包括：

針對各個功能模塊的任務序列，分別計算各個任務序列中執行每個所述任務所需的等待時間；

確定當前等待時間最短的任務為目標任務；

執行所述目標任務；

從所述任務序列中刪除所述目標任務后，返回所述針對各個功能模塊的任務序列，分別計算各個任務序列中執行每個所述任務所需的等待時間的步驟。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述從所述任務序列中刪除所述目標任務的步驟后，所述的方法還包括：

在所述任務序列中增加新任務。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述在所述任務序列中增加新任務的步驟包括：

獲得新任務；

判斷所述任務序列中當前已有任務的數量是否達到對應的預設數量；

若否，則在所述任務序列中增加所述新任務；

若是，則停止在所述任務序列中增加所述新任務。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述功能模塊具有對應的狀態，所述狀態包括：空閑狀態、忙碌狀態、不可用狀態；

所述在所述任務序列中增加所述新任務的子步驟進一步包括：

若所述功能模塊處于空閑狀態，則在所述任務序列中增加所述新任務；

若所述功能模塊處于忙碌狀態或不可用狀態時，則停止在所述任務序列中增加所述新任務。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述等待時間通過如下方式確定：

獲取所述功能模塊進入空閑狀態的時間為第一時間；

獲取完成所述各個任務所需的調整動作所需的時間為第二時間；

獲取完成所述各個任務的前置任所需的時間為第三時間；

合計所述第一時間、第二時間和第三時間為當前等待時間。

6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述各個功能模塊的任務序列的對應的預設數量相同。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述功能模塊包括大氣機械手，所述大氣機械手的任務包括：

從晶盒取片傳給定位校準設備、將定位校準設備校準完成的硅片傳入加鎖容器、從加鎖容器中取片傳回晶盒。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述功能模塊包括加鎖容器，所述加鎖容器的任務包括：

充氣至大氣狀態、抽氣至真空狀態、硅片傳出或者傳入。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述功能模塊包括真空機械手，所述真空機械手的任務包括：

將加鎖容器中的硅片傳入第一工藝的工藝腔室、將第一工藝的工藝腔室中的硅片傳入第二工藝的工藝腔室、將第二工藝的工藝腔室中的硅片傳入加鎖容器。

10.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述功能模塊包括工藝腔室，所述工藝腔室的任務包括：

開啟腔室閥門、執行硅片的工藝流程、關閉腔室閥門。

11.一種生產線設備的調度裝置，其特征在于，所述生產線設備包括一個或多個功能模塊，所述功能模塊具有對應的任務序列，所述任務序列中包括一個或多個任務，所述的裝置包括：

等待時間計算模塊，用于針對各個功能模塊的任務序列，分別計算各個任務序列中執行每個所述任務所需的等待時間；

目標任務確定模塊，用于確定當前等待時間最短的任務為目標任務；

執行模塊，用于執行所述目標任務；

調用模塊，用于從所述任務序列中刪除所述目標任務后，調用所述等待時間計算模塊。