[發(fā)明專利]一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610861929.2
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN107871194B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張善貴
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 趙娟

本申請實施例提供了一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度方法，其中，生產(chǎn)線設(shè)備包括一個或多個功能模塊，功能模塊具有對應(yīng)的任務(wù)序列，任務(wù)序列中包括一個或多個任務(wù)，所述的方法包括：針對各個功能模塊的任務(wù)序列，分別計算各個任務(wù)序列中執(zhí)行每個任務(wù)所需的等待時間；確定當(dāng)前等待時間最短的任務(wù)為目標(biāo)任務(wù)；執(zhí)行目標(biāo)任務(wù)；從任務(wù)序列中刪除目標(biāo)任務(wù)后，返回針對各個功能模塊的任務(wù)序列，分別計算各個任務(wù)序列中執(zhí)行每個任務(wù)所需的等待時間的步驟。本申請實施例將生產(chǎn)線設(shè)備劃分成多個獨立的功能模塊，對于每個功能模塊，永遠(yuǎn)先執(zhí)行需要等待時間最短的任務(wù)，這樣可保證在調(diào)度過程中，生產(chǎn)線設(shè)備的各個功能模塊總的等待時間盡可能少，從而提高調(diào)度效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及工藝控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度方法和一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度裝置。

背景技術(shù)

集簇調(diào)度問題是指半導(dǎo)體制造行業(yè)因工藝生產(chǎn)需求須同時使用多個傳輸平臺、掛載多個工藝腔室，從而導(dǎo)致工藝生產(chǎn)中硅片(wafer)的傳輸路徑與調(diào)度方法更加復(fù)雜的一類問題。近年來，隨著半導(dǎo)體行業(yè)制造技術(shù)的快速發(fā)展，在生產(chǎn)過程中對設(shè)備的產(chǎn)能要求也越來越高。針對不同生產(chǎn)工藝的生產(chǎn)線設(shè)備，如何設(shè)計高效可靠的調(diào)度算法，對于提高生產(chǎn)線設(shè)備的產(chǎn)能有著非常重要的意義與作用。

生產(chǎn)線設(shè)備調(diào)度算法作為一類比較復(fù)雜的NP組合優(yōu)化問題，在實際解決的過程中并沒有成熟的多項式算法及優(yōu)化理論可以借鑒和引用，而只能根據(jù)具體的問題采用一些特定的優(yōu)化方法進(jìn)行求解。

因此，目前需要本領(lǐng)域技術(shù)人員迫切解決的一個技術(shù)問題就是：提供一種調(diào)度方法以用于復(fù)雜的調(diào)度需求，提高生產(chǎn)線設(shè)備的產(chǎn)能效率。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例所要解決的技術(shù)問題是提供一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度方法，以實現(xiàn)對復(fù)雜調(diào)度需求的優(yōu)化，提高生產(chǎn)線設(shè)備的產(chǎn)能效率。

相應(yīng)的，本申請實施例還提供了一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度裝置，用以保證上述方法的實現(xiàn)及應(yīng)用。

為了解決上述問題，本申請公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備的調(diào)度方法，其中，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括一個或多個功能模塊，所述功能模塊具有對應(yīng)的任務(wù)序列，所述任務(wù)序列中包括一個或多個任務(wù)，所述的方法包括：

針對各個功能模塊的任務(wù)序列，分別計算各個任務(wù)序列中執(zhí)行每個所述任務(wù)所需的等待時間；

確定當(dāng)前等待時間最短的任務(wù)為目標(biāo)任務(wù)；

執(zhí)行所述目標(biāo)任務(wù)；

從所述任務(wù)序列中刪除所述目標(biāo)任務(wù)后，返回所述針對各個功能模塊的任務(wù)序列，分別計算各個任務(wù)序列中執(zhí)行每個所述任務(wù)所需的等待時間的步驟。

優(yōu)選的，在所述從所述任務(wù)序列中刪除所述目標(biāo)任務(wù)的步驟后，所述的方法還包括：

在所述任務(wù)序列中增加新任務(wù)。

優(yōu)選的，所述在所述任務(wù)序列中增加新任務(wù)的步驟包括：

獲得新任務(wù)；

判斷所述任務(wù)序列中當(dāng)前已有任務(wù)的數(shù)量是否達(dá)到對應(yīng)的預(yù)設(shè)數(shù)量；

若否，則在所述任務(wù)序列中增加所述新任務(wù)；

若是，則停止在所述任務(wù)序列中增加所述新任務(wù)。

優(yōu)選的，所述功能模塊具有對應(yīng)的狀態(tài)，所述狀態(tài)包括：空閑狀態(tài)、忙碌狀態(tài)、不可用狀態(tài)；

所述在所述任務(wù)序列中增加所述新任務(wù)的子步驟進(jìn)一步包括：

若所述功能模塊處于空閑狀態(tài)，則在所述任務(wù)序列中增加所述新任務(wù)；

若所述功能模塊處于忙碌狀態(tài)或不可用狀態(tài)時，則停止在所述任務(wù)序列中增加所述新任務(wù)。

優(yōu)選的，所述等待時間通過如下方式確定：