[發明專利]基板處理裝置有效
| 申請號： | 201610861837.4 | 申請日： | 2013-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN106933065B | 公開（公告）日： | 2019-03-05 |
| 發明（設計）人： | 鈴木智也 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G03F7/24 | 分類號： | G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 陳偉;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 | ||
1.一種基板處理裝置，在具有撓性的長條狀的基板上形成構成電子元件的圖案，其特征在于，包括：
基板支承部件，其具有以對所述基板的長度方向的一部分進行支承的方式沿所述長度方向彎曲而成的支承面，且所述基板支承部件以規定的速度沿所述長度方向搬送所述基板；
處理部，其在被所述基板支承部件的所述支承面支承的所述基板上形成所述圖案；和
溫度調節部，其相對于所述基板支承部件的所述支承面配置在所述基板的搬送方向的上游側，且對所述上游側的所述基板的溫度進行調節，以使所述上游側的所述基板的溫度與在所述支承面的所述基板的溫度成為規定的差，
所述規定的差是根據在通過所述處理部在所述基板上形成所述圖案時所需的所述基板的伸縮量而設定的。
2.一種基板處理裝置，在具有撓性的長條狀的基板上形成構成電子元件的圖案，其特征在于，包括：
基板支承部件，其具有以對所述基板的長度方向的一部分進行支承的方式沿所述長度方向彎曲而成的支承面，且所述基板支承部件以規定的速度沿所述長度方向搬送所述基板；
處理部，其在被所述基板支承部件的所述支承面支承的所述基板上形成所述圖案；
第1溫度調節部，其將所述基板支承部件的所述支承面調整為第1溫度；和
第2溫度調節部，其關于所述基板的搬送方向設置在所述基板支承部件的上游側，將所述基板的溫度調整為與所述第1溫度不同的第2溫度，
根據在通過所述處理部在所述基板上形成所述圖案時所需的所述基板的伸縮量來設定所述第1溫度與所述第2溫度之差。
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