[發明專利]晶圓盒清洗裝置

在審

• 申請號: 201610842248.1
• 申請日: 2016-09-23
• 公開（公告）號: CN107866426A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 顏錫銘
• 申請（專利權）人: 錫宬國際有限公司
• 主分類號: B08B9/20
• 分類號: B08B9/20
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙)31218
• 代理人: 翟羽

技術領域

本發明涉及晶圓領域，特別是涉及一種晶圓盒清洗裝置。

背景技術

晶圓在制程中需要經過多次運送，目前用于運送晶圓的晶圓盒稱為前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod；FOUP，或稱為前開口一體盒)，前開式晶圓傳送盒主要用于運送及儲存若干片晶圓的一種容器。

前開式晶圓傳送盒主要包括一本體以及一蓋體，而前開式晶圓傳送盒在使用一段時間后需要清洗，更明確地說，用于清洗前開式晶圓傳送盒的裝置需要分別將本體及蓋體進行清洗，然而現有用于清洗前開式晶圓傳送盒的裝置不能方便地將本體及蓋體分離，使得清洗前開式晶圓傳送盒的效率受到影響。

因此需要針對現有技術中不能方便地將前開式晶圓傳送盒之本體及蓋體分離的問題提出解決方法。

發明內容

本發明的目的在于提供一種晶圓盒清洗裝置，其能解決現有技術中不能方便地將前開式晶圓傳送盒之本體及蓋體分離的問題。

本發明之晶圓盒清洗裝置用于清洗一晶圓盒，該晶圓盒包括一本體以及一蓋體，該晶圓盒清洗裝置包括一基座以及一上蓋部。該晶圓盒固定于該基座上。該上蓋部設置于該基座上方之側邊，該基座以及該上蓋部共同形成一腔體，該腔體用于容納該晶圓盒，該上蓋部用于分離該本體以及該蓋體。

在一較佳實施例中，該上蓋部用于吸附該蓋體來分離該本體以及該蓋體。

在一較佳實施例中，該基座包括一固定部，該固定部設置于該基座上方之側邊。

在一較佳實施例中，該上蓋部包括一樞轉部，該樞轉部設置于該上蓋部之周圍，該樞轉部樞轉地連接至該固定部。

在一較佳實施例中，該基座包括一底部，該晶圓盒固定于該底部。

在一較佳實施例中，該上蓋部包括一吸附部，該吸附部包括至少一吸盤，該至少一吸盤用于吸附該晶圓盒。

本發明之晶圓盒清洗裝置能方便地將晶圓盒之本體以及蓋體分離，藉此增進清洗晶圓盒之效率。

為讓本發明的上述內容能更明顯易懂，下文特舉優選實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下：

附圖說明

圖1顯示根據本發明一實施例之晶圓盒清洗裝置容納一晶圓盒之立體圖。

圖2顯示該晶圓盒清洗裝置及該晶圓盒之分解圖。

具體實施方式

請參閱圖1至圖2，圖1顯示根據本發明一實施例之晶圓盒清洗裝置1容納一晶圓盒30之立體圖，圖2顯示該晶圓盒清洗裝置1及該晶圓盒30之分解圖。

該晶圓盒清洗裝置1用于清洗該晶圓盒30。該晶圓盒30可以但不限于為一前開式晶圓傳送盒，該晶圓盒30主要包括一本體300以及一蓋體302。該本體300以及該蓋體302共同形成一容置空間以容納若干片晶圓。當該晶圓盒30需要清洗時，該晶圓盒30內之容置空間將不會容納晶圓，一自動運送裝置(例如一機械手臂)將該晶圓盒30放入該晶圓盒清洗裝置1中并等待后續之作動(將于稍后詳述)。

該晶圓盒清洗裝置1包括一基座10以及一上蓋部12。該基座10以及該上蓋部12共同形成一腔體14。該腔體14用于容納該晶圓盒30。該晶圓盒30固定于該基座10上。

于本實施例中，該基座10大致呈一圓柱狀，該圓柱狀之側邊鄰接一矩形之空間，然而本發明之基座10可以為其他適當之形狀，并不限于如圖1所示之形狀。

該上蓋部12設置于該基座10上方之側邊且相對于該基座10可進行打開或關閉之作動。由于該上蓋部12相對于該基座10可進行打開或關閉之作動，因此該上蓋部12之形狀對應于該基座10之形狀。該上蓋部12用于通過吸附該蓋體302來分離該本體300以及該蓋體302。

于本實施例中，該基座10包括一固定部100，該固定部100設置于該基座10上方之側邊，該上蓋部12包括一樞轉部120，該樞轉部120設置于該上蓋部12之周圍，該樞轉部120樞轉地連接至該固定部100，該上蓋部12可以通過該樞轉部120達到相對于該基座10進行打開或關閉之作動。

該基座10進一步包括一底部102，該底部102設置于該腔體14之下方，該晶圓盒30固定于該底部102。

該上蓋部12進一步包括一吸附部122，該吸附部122設置于該上蓋部12的內部，該吸附部122包括至少一吸盤1220，該至少一吸盤1220用于吸附該晶圓盒30之該蓋體302，以使該本體300以及該蓋體302達到分離之效果，并藉此增進清洗該晶圓盒30之效率。