[發明專利]晶圓盒清洗裝置在審
| 申請號： | 201610842248.1 | 申請日： | 2016-09-23 |
| 公開（公告）號： | CN107866426A | 公開（公告）日： | 2018-04-03 |
| 發明（設計）人： | 顏錫銘 | 申請（專利權）人： | 錫宬國際有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/20 | 分類號： | B08B9/20 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中國臺灣新*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓盒 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓盒清洗裝置，用于清洗一晶圓盒，該晶圓盒包括一本體以及一蓋體，其特征在于，該晶圓盒清洗裝置包括：
一基座，該晶圓盒固定于該基座上；以及
一上蓋部，設置于該基座上方之側邊，該基座以及該上蓋部共同形成一腔體，該腔體用于容納該晶圓盒，該上蓋部用于分離該本體以及該蓋體。
2.根據權利要求1所述的晶圓盒清洗裝置，其特征在于，該上蓋部用于吸附該蓋體來分離該本體以及該蓋體。
3.根據權利要求1所述的晶圓盒清洗裝置，其特征在于，該基座包括一固定部，該固定部設置于該基座上方之側邊。
4.根據權利要求1所述的晶圓盒清洗裝置，其特征在于，該上蓋部包括一樞轉部，該樞轉部設置于該上蓋部之周圍，該樞轉部樞轉地連接至該固定部。
5.根據權利要求1所述的晶圓盒清洗裝置，其特征在于，該基座包括一底部，該晶圓盒固定于該底部。
6.根據權利要求1所述的晶圓盒清洗裝置，其特征在于，該上蓋部包括一吸附部，該吸附部包括至少一吸盤，該至少一吸盤用于吸附該晶圓盒。
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