[發明專利]用于裝配微透鏡陣列組件的方法和系統

有效

• 申請號: 201610826715.1
• 申請日: 2016-09-18
• 公開（公告）號: CN107843966B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 袁曉峰;伍強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;B32B37/12
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉倜

1.一種用于裝配微透鏡陣列組件的方法，其特征在于，所述微透鏡陣列組件包括至少兩個陣列元件，每個陣列元件包括多個微透鏡和位于多個微透鏡之間的多個邊緣柱子，所述至少兩個陣列元件包括第一陣列元件和第二陣列元件，所述方法包括：

將所述第一陣列元件吸附在移動平臺上；

利用夾具平臺并通過夾具平臺與所述第二陣列元件之間的透明液體吸附所述第二陣列元件，將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件對準，所述對準包括粗對準和細對準；其中，根據所述第二陣列元件和第一陣列元件的邊緣將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件粗對準，根據所述第二陣列元件和第一陣列元件的陣列圖形將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件細對準，所述第二陣列元件和第一陣列元件的邊緣利用第一顯微鏡系統觀察得到，所述第二陣列元件和第一陣列元件的陣列圖形利用第二顯微鏡系統觀察得到；

將對準后的所述第二陣列元件與所述第一陣列元件結合。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

根據所述第二陣列元件和第一陣列元件的邊緣調節支撐所述移動平臺的基座平臺上的旋鈕，以帶動所述移動平臺移動，從而實現所述第二陣列元件與所述第一陣列元件的粗對準。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

根據所述第二陣列元件和第一陣列元件的陣列圖形利用一個或多個壓電陶瓷來驅動所述移動平臺移動，以實現所述第二陣列元件與所述第一陣列元件的精對準。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

通過夾具平臺吸附點膠模具對所述移動平臺上的所述第一陣列元件進行點膠；

所述將對準后的所述第二陣列元件與所述第一陣列元件結合包括：

將對準后的所述第二陣列元件與所述第一陣列元件膠合。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少兩個陣列元件還包括第三陣列元件；

所述方法還包括：

通過所述夾具平臺吸附點膠模具并利用所述點膠模具對與所述第一陣列結合在一起的所述第二陣列元件進行點膠；

利用所述夾具平臺吸附所述第三陣列元件，將所述第三陣列元件與所述第二陣列元件對準；其中，根據所述第三陣列元件和所述第二陣列元件的邊緣將所述第三陣列元件與所述第二陣列元件粗對準，根據所述第三陣列元件和所述第二陣列元件的陣列圖形將所述第三陣列元件與所述第二陣列元件細對準；

將對準后的所述第三陣列元件與所述第二陣列元件膠合。

6.一種用于裝配微透鏡陣列組件的系統，其特征在于，所述微透鏡陣列組件包括至少兩個陣列元件，每個陣列元件包括多個微透鏡和位于多個微透鏡之間的多個邊緣柱子，所述至少兩個陣列元件包括第一陣列元件和第二陣列元件，所述系統包括：

移動平臺，用于吸附所述第一陣列元件；

夾具平臺，用于通過夾具平臺與所述第二陣列元件之間的透明液體吸附所述第二陣列元件，將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件對準，所述對準包括粗對準和細對準；將對準后的所述第二陣列元件與所述第一陣列元件結合；

第一顯微鏡系統，用于觀察所述第二陣列元件和第一陣列元件的邊緣；

第二顯微鏡系統，用于觀察所述第二陣列元件和第一陣列元件的陣列圖形；

其中，根據第一顯微鏡系統觀察到的所述第二陣列元件和第一陣列元件的邊緣將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件粗對準，根據第二顯微鏡系統觀察到的所述第二陣列元件和第一陣列元件的陣列圖形將所述第二陣列元件與所述第一陣列元件細對準。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，還包括：

支撐所述移動平臺的基座平臺，用于在旋鈕的調節下移動，以帶動所述移動平臺移動，從而實現所述第二陣列元件與所述第一陣列元件的粗對準。

8.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，還包括：

一個或多個壓電陶瓷，用于驅動所述移動平臺移動，以實現所述第二陣列元件與所述第一陣列元件的精對準。