[發(fā)明專利]反應(yīng)性熱處理設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610823220.3
• 申請日: 2016-09-14
• 公開（公告）號: CN107527970A
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃庭輝
• 申請（專利權(quán)）人: 上銀光電股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/032;C23C14/58
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11369
• 代理人: 史霞

1.一種反應(yīng)性熱處理設(shè)備，適于處理一薄膜裝置，該反應(yīng)性熱處理設(shè)備包括：

一爐管，沿著一方向延伸，具有一第一端與一第二端，該爐管還包括：

一高溫部，靠近該第二端，用于擺放該薄膜裝置；

一低溫部，靠近該第一端，具有一氣密結(jié)構(gòu)；及

一閥門，設(shè)置于該第一端；

其特征在于，該低溫部的一內(nèi)側(cè)壁具有一凹陷部，此凹陷部與該高溫部的一內(nèi)側(cè)壁形成一段差。

2.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該低溫部的該凹陷部以外的內(nèi)側(cè)壁，是與該高溫部的內(nèi)側(cè)壁切齊。

3.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該凹陷部是延伸通過整個該低溫部。

4.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該高溫部與該低溫部是以相同材料制成。

5.如權(quán)利要求4所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該高溫部與該低溫部是以石英制成。

6.如權(quán)利要求4所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該高溫部與該低溫部是一整體結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求4所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該高溫部與該低溫部是以不同材料制成。

8.如權(quán)利要求7所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該低溫部是以不銹鋼制成。

9.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，還包括一容器，與該凹陷部嵌合。

10.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備，其特征在于，該高溫部的長度大于該低溫部的長度。

11.一種反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，包括：

提供一爐管，該爐管沿著一方向而設(shè)置，該爐管還包括一第一端與一第二端，該爐管包括一高溫部與一低溫部，該高溫部是靠近該第二端并用以放置一薄膜裝置，該低溫部靠近該第一端且還具有一氣密結(jié)構(gòu)；及

在該低溫部的內(nèi)側(cè)壁上形成一凹陷部，該凹陷部與該高溫部的內(nèi)側(cè)壁形成一段差。

12.如權(quán)利要求11所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，還包括：

于該凹陷部形成一容器與該凹陷部嵌合。

13.如權(quán)利要求11所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該高溫部的長度大于該低溫部的長度。

14.如權(quán)利要求11所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該高溫部與該低溫部是以相同材料形成。

15.如權(quán)利要求11所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該高溫部與該低溫部是以不同材料形成。

16.如權(quán)利要求11所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該低溫部是以不銹鋼形成。

17.一種反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，包括：

提供一第一爐管；

提供一第二爐管，該第二爐管具有一氣密結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一爐管的長度大于該第二爐管的長度，該第二爐管的截面積大于該第一爐管的截面積；

接合該第一爐管與該第二爐管，使該第一爐管與該第二爐管的交界處形成一段差。

18.如權(quán)利要求17所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該第一爐管與該第二爐管為不銹鋼材質(zhì)。

19.如權(quán)利要求17所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該第一爐管與該第二爐管為石英材質(zhì)。

20.如權(quán)利要求17所述的反應(yīng)性熱處理設(shè)備的制造方法，其特征在于，該第一爐管為石英，該第二爐管為不銹鋼。