[發明專利]一種真空用高壓連接裝置

在審

• 申請號: 201610811194.2
• 申請日: 2016-09-08
• 公開（公告）號: CN107808814A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 李晨冉
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種半導體器件制造設備，即離子注入機，特別是一種真空用高壓連接裝置，屬半導體設備領域。

背景技術

隨著集成電路工藝技術的提高，對離子注入設備提出了更高的要求，離子注入元素的種類更多，離子注入設備的應用范圍更廣，其可應用于各種材料改性、半導體器件制造以及大功率器件如SiC電子器件制造等領域，并要求離子注入設備自動化程度較高，操作簡單方便，工作穩定。

現有的真空用連接裝置不能滿足高壓加載要求，存在極間打火放電現象，需要一種多路輸入輸出、穩定無打火的真空用高壓連接裝置。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，針對現有真空電極間打火技術的不足，提供了一種真空用高壓連接裝置，能夠實現真空與大氣之間的電位連接，能夠滿足多極直流和交流高壓輸入輸出，極間無打火放電現象，并且能夠耐600℃以上高溫。

為解決高壓極間打火技術問題，本發明所采用的技術方案是：一種真空用高壓連接裝置，包括金屬底座(1)、絕緣陶瓷座(2)、供電端子(3)，其特征在于：該真空用高壓連接裝置能夠實現真空與大氣之間的電位連接，并可實現多路供電輸入與輸出，供電端子可按一定間距線性排列，也可隨機排列。能夠避免多路供電之間的高壓打火問題。

所述金屬底座(1)能夠將高壓連接裝置固定到其他功用零件上，并具有與相應的功用零件相同的電位，其可根據外部接口來進行柔性設計，能夠滿足多種高壓加載環境的應用。

所述絕緣陶瓷座(2)采用高純陶瓷材料加工而來，具有良好的絕緣性能，能夠使金屬底座與供電端子的電位隔離開，并具有固定供電端子的作用，為高壓加載提供了結構支撐。

所述供電端子(3)為可焊接材料加工而成，能夠實現真空與大氣之間的電位連接。

所述的一種真空用高壓連接裝置，金屬底座(1)通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座(2)上，多個供電端子(3)也通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座(2)上，這樣既保證了供電端子間絕緣保證了供電端子與金屬坐(1)間的絕緣，同時保證了真空度要求。

與現有技術相比，本發明所具有的有益效果為：本發明結構緊湊，拆裝維護方便；能夠實現多極高壓的輸入輸出、，耐高溫、耐高真空、極間無打火、穩定性好。

附圖說明

圖1為本發明一實施例結構示意圖；

圖2為本發明一實施例金屬底座結構示意圖；

圖3為本發明一實施例絕緣陶瓷座結構示意圖；

圖4為本發明一實施例供電端子結構示意圖；

具體實施方式

如圖1所示，本發明一實施例包括金屬底座(1)、絕緣陶瓷座(2)、供電端子(3)等。本一種真空用高壓連接裝置，包括金屬底座(1)、絕緣陶瓷座(2)、供電端子(3)，其特征在于：該真空用高壓連接裝置能夠實現真空與大氣之間的電位連接，并可實現多路供電輸入與輸出，供電端子可按一定間距線性排列，也可隨機排列。能夠避免多路供電之間的高壓打火問題。

如圖2所示金屬底座結構示意圖，金屬底座能夠將高壓連接裝置固定到其他功用零件上，并具有與相應的功用零件相同的電位，其可根據外部接口來進行柔性設計，能夠滿足多種高壓加載環境的應用。

如圖3所示絕緣陶瓷座結構示意圖，絕緣陶瓷座采用高純陶瓷材料加工而來，具有良好的絕緣性能，能夠使金屬底座與供電端子的電位隔離開，并具有固定供電端子的作用，為高壓加載提供了結構支撐。

如圖4所示供電端子結構示意圖，供電端子為可焊接材料加工而成，能夠實現真空與大氣之間的電位連接。

所述的一種真空用高壓連接裝置，金屬底座通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座上，多個供電端子也通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座上，這樣既保證了供電端子間絕緣保證了供電端子與金屬坐間的絕緣，同時保證了真空度要求，能夠實現真空與大氣之間的電位連接，能夠滿足多極直流和交流高壓輸入輸出，極間無打火放電現象，并且能夠耐600℃以上高溫。