[發明專利]一種真空用高壓連接裝置

在審

• 申請號: 201610811194.2
• 申請日: 2016-09-08
• 公開（公告）號: CN107808814A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 李晨冉
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空用高壓連接裝置，包括金屬底座(1)、絕緣陶瓷座(2)、供電端子(3)，其特征在于：該真空用高壓連接裝置能夠實現真空與大氣之間的電位連接，并可實現多路供電輸入與輸出，供電端子可按一定間距線性排列，也可隨機排列。能夠避免多路供電之間的高壓打火問題。

2.根據權利要求1所述的一種真空用高壓連接裝置，金屬底座(1)能夠將高壓連接裝置固定到其他功用零件上，并具有與相應的功用零件相同的電位，其可根據外部接口來進行柔性設計，能夠滿足多種高壓加載環境的應用。

3.根據權利要求1所述的一種真空用高壓連接裝置，絕緣陶瓷座(2)采用高純陶瓷材料加工而來，具有良好的絕緣性能，能夠使金屬底座與供電端子的電位隔離開，并具有固定供電端子的作用，為高壓加載提供了結構支撐。

4.根據權利要求1所述的一種真空用高壓連接裝置，供電端子(3)為可焊接材料加工而成，能夠實現真空與大氣之間的電位連接。

5.根據權利要求1所述的一種真空用高壓連接裝置，金屬底座(1)通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座(2)上，多個供電端子(3)也通過真空釬焊固定在絕緣陶瓷座(2)上，這樣既保證了供電端子間絕緣保證了供電端子與金屬坐(1)間的絕緣，同時保證了真空度要求。