[發明專利]抗蝕劑剝離液有效
| 申請號： | 201610810602.2 | 申請日： | 2014-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN106200283B | 公開（公告）日： | 2017-11-03 |
| 發明（設計）人： | 淵上真一郎;鈴木靖紀;有富禮子;児玉明里;五十嵐軌雄;坂田俊彥 | 申請（專利權）人： | 松下知識產權經營株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42;H01L21/311 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑 剝離 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗蝕劑剝離液，其特征在于，含有鏈烷醇叔胺、水以外的極性溶劑、水、仲胺以及糖醇，所述仲胺為N-甲基乙醇胺且含有1.4～5質量％。
2.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液，其特征在于，所述糖醇為山梨糖醇。
3.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液，其特征在于，所述鏈烷醇叔胺為N-甲基二乙醇胺，所述水以外的極性溶劑為二乙二醇單丁基醚和丙二醇的混合溶劑。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的抗蝕劑剝離液，其特征在于，
所述鏈烷醇叔胺為2～9質量％，
所述水以外的極性溶劑為50～80質量％，
所述水為10～50質量％，
所述糖醇為0.5～10質量％。
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