[發明專利]靶材的加工方法

在審

• 申請號: 201610808285.0
• 申請日: 2016-09-07
• 公開（公告）號: CN107790745A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;吳發游
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23B5/00
• 分類號: B23B5/00;C23C14/35
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,吳敏

1.一種靶材的加工方法，其特征在于，包括：

提供靶材，所述靶材具有待加工面；

提供刀具，所述刀具包括刀片，所述刀片上具有排削槽；

采用所述刀具對所述待加工面進行車削加工以形成濺射面，車削過程中所產生的廢削通過所述刀片上的排削槽排出。

2.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步驟中，所述刀片具有前刀面，所述排削槽位于所述前刀面上；

采用所述刀具對所述待加工面進行車削加工的步驟中，部分所述前刀面與所述靶材的材料相接觸以進行車削加工。

3.如權利要求2所述的加工方法，其特征在于，提供刀片的步驟中，所述前刀面呈菱形，所述前刀面的邊為所述刀片的切削刃，所述排削槽平行所述切削刃設置；

采用所述刀具對所述待加工面進行車削加工的步驟包括，通過所述切削刃對所述待加工面進行車削加工。

4.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步驟中，所述刀片的材料為H210T合金。

5.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步驟中，所述刀具還包括用于固定所述刀片的刀桿；

提供所述到刀具的步驟包括：將所述刀片固定于所述刀桿上。

6.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，采用刀具對所述待加工面進行車削加工的步驟包括：

對所述待加工面進行粗車加工，以形成粗加工面；

對所述粗加工面進行精車加工，以形成濺射面。

7.如權利要求6所述的加工方法，其特征在于，所述粗車加工的步驟和所述精車加工的步驟中的一個或兩個步驟包括：采用數控機床進行加工。

8.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗車加工的步驟中，所述數控機床的轉速在450轉/分鐘到550轉/分鐘范圍內，進給量在0.27毫米/分鐘到0.33毫米/轉范圍內，吃刀量在0.45毫米到0.55毫米范圍內。

9.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述精車加工步驟中，所述數控機床的轉速在720轉/分鐘到880轉/分鐘范圍內，進給量在0.135毫米/分鐘到0.165毫米/轉范圍內，吃刀量在0.09毫米到0.11毫米范圍內。

10.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗車加工的步驟中，垂直所述待加工面的方向上，所述粗車加工的余量在0.45毫米到0.55毫米范圍內。

11.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗車加工的步驟中，平行所述待加工面平面的方向上，所述粗車加工的余量在0.45毫米到0.55毫米范圍內。

12.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，在采用所述刀具對所述待加工面進行機械加工的步驟中，在所述刀片與所述待加工面的接觸處添加冷卻劑。

13.如權利要求12所述的加工方法，其特征在于，在所述刀片與所述待加工面的接觸處添加冷卻劑的步驟中，所述冷卻劑為包含有3380乳化劑的水溶液。

14.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供靶材的步驟中，所述靶材的材料為銅。

15.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，進行車削加工的步驟包括：采用所述刀具對所述待加工面進行車削加工，在所述待加工面上形成V型凹槽，以形成濺射面。