[發明專利]模具和傳遞模塑成型裝置

有效

• 申請號: 201610804057.6
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107199717B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 前田竹識;松島良二;川口誠;涌井正明
• 申請（專利權）人: 東芝存儲器株式會社
• 主分類號: B29C70/54
• 分類號: B29C70/54;B29C70/48
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張謨煜;段承恩

1.一種模具，具備：

基板夾緊面，其與被處理基板的表面接觸；

腔部，其從所述基板夾緊面后退而成；

吸引部，其從所述基板夾緊面后退而成；

出口部，其設置于所述腔部與所述吸引部之間的路徑上，與所述腔部連結，成為所述腔部內的氣體的排出路徑，從所述基板夾緊面后退出口部深度而成；

中間腔，其在所述路徑上設置于所述出口部與所述吸引部之間，與所述出口部連結，從所述基板夾緊面后退比所述出口部深度深的中間腔深度而成；以及

開閉部，其在所述路徑上設置于所述中間腔與所述吸引部之間，對所述路徑進行開閉。

2.根據權利要求1所述的模具，

所述模具還具備從所述基板夾緊面后退門部深度而成的門部，在所述門部與所述出口部之間的至少一部分設置有所述腔部，

所述出口部深度比所述門部深度淺。

3.一種傳遞模塑成型裝置，具備：

權利要求1或2所述的模具；

使樹脂向所述模具導入的傳送部；以及

傳感器部，

所述傳送部，在所述開閉部的打開狀態下向所述腔部填充所述樹脂，

所述傳感器部，對所述樹脂的至少一部分通過所述出口部而到達所述中間腔的至少一部分這一情況進行檢測，

所述開閉部，在所述傳感器部的所述檢測后設為關閉狀態。

4.根據權利要求3所述的傳遞模塑成型裝置，

所述傳感器部的檢測，通過如下至少任一方來進行：

檢測在所述傳送部與所述腔部之間的路徑中的，所述模具的溫度、所述樹脂的壓力、在所述模具的反射光、以及在所述被處理基板的反射光中的至少任一方；

檢測所述腔部與所述吸引部之間的所述路徑中的，所述模具的溫度、所述樹脂的壓力、在所述模具的反射光、以及在所述被處理基板的反射光中的至少任一方；以及

檢測所述傳送部的位置。