[發明專利]流體控制裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201610801487.2
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107795466B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 韓永隆;黃啟峰
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/22
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

一種流體控制裝置的制造方法，包含:(a)提供殼體、壓電致動器及可變形基座結構，壓電致動器由壓電元件及振動板所構成，振動板具有第一表面及相對應的第二表面，第二表面具有一突出部，可變形基座結構包含流通板及撓性板，撓性板具有可動部；(b)將可變形基座結構的撓性板及流通板相互堆疊接合并實施預制同步變形作業，使撓性板及流通板同步變形構成預制成型的同步變形結構；(c)依序將殼體、壓電致動器及可變形基座結構相互堆疊定位接合，可變形基座結構的預制成型的同步變形結構為相對于振動板的突出部，以使可動部與突出部之間定義出特定深度。

【技術領域】

本案是關于一種流體控制裝置的制造方法，尤指一種具有可變形基座的流體控制裝置的制造方法。

【背景技術】

目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業，產品均朝精致化及微小化方向發展，其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的流體輸送結構為其關鍵技術，是以，如何借創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重要內容。

請參閱圖1A及圖1B所示，圖1A為已知流體控制裝置的部分結構示意圖，圖1B為已知流體控制裝置的部分結構組裝偏移示意圖。如圖所示，已知的流體控制裝置100的作動核心主要包含基板101及壓電致動器102，基板101與壓電致動器102是堆疊設置，且基板101與壓電致動器102具有一間隙103，其中，該間隙103需保持一定深度，借由此間隙103維持一定深度，當壓電致動器102受施加電壓而致動產生形變時，則可驅動流體于流體控制裝置100的各腔室內流動，借以達到流體傳輸的目的。然而，于此已知的流體控制裝置100中，其中壓電致動器102與基板101均為平板式的整體結構，且具有一定的剛性，在此條件下，欲使該兩個整體均為平板式的結構彼此精準對位，以致使該兩平板間產生具有一定之間隙103，即維持一定深度，會具有一定的困難度，極容易產生誤差，因為上述任一具一定剛性的整體平板，如有任一邊傾斜一角度θ，則于相對的位置均會產生相對的距離乘上該角度θ的位移值，例如一位移d，而導致該一定之間隙103的標線處增加d’(如圖1B所示)，或反之減少d’(未圖示)；特別是當流體控制裝置朝向微小化的發展，每一元件的尺寸均朝微小化設計進行，使得該兩平板間欲維持具有一定之間隙103，而不會增加或減少d’，進而保持間隙103的一定深度，其困難度越來越高，而若無法保持間隙103的一定深度，例如間隙103是增加上述一d’位移的誤差時，將導致該間隙103的距離過大，進而使得流體傳輸效率不佳；反之，若間隙是于相反方向以致減少上述一d’位移(未圖示)，則使得間隙103的距離過小，進而在壓電致動器102作動時易與其他元件接觸干涉，而產生噪音的問題，并導致流體控制裝置的不良率隨的提升。

換言之，由于已知的流體控制裝置100的壓電致動器102與基板101均為具有一定剛性的平板式整體結構，兩者平板間欲以整體對位方式，達到精準對位的目的顯為困難，尤其在元件尺寸越趨微小，組裝時更難精確對位，進而使流體輸送的效能低落及產生噪音的問題，導致使用上的不便利及不舒適。

因此，如何發展一種可改善上述已知技術缺失，可使傳統采用流體傳輸裝置的儀器或設備達到體積小、微型化且靜音，并克服組裝時易產生誤差的問題，進而達成輕便舒適的可攜式目的的微型流體傳輸裝置，實為目前迫切需要解決的問題。

【發明內容】

本案的主要目的在于解決已知的流體控制裝置中，基板與壓電致動器因元件微小化的設計，于組裝時不易精確地定位而產生誤差，使其于組裝后難以維持其間隙的需求距離，進而導致流體輸送的效能低落及產生噪音的問題，導致使用上的不便利及不舒適的問題。