[發明專利]流體控制裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201610801487.2
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107795466B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 韓永隆;黃啟峰
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/22
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種流體控制裝置的制造方法，包含:

(a)提供一殼體、一壓電致動器及一可變形基座結構，該壓電致動器由一壓電元件及一振動板所構成，該振動板具有第一表面及相對應的第二表面，該第二表面具有一突出部，該可變形基座結構包含一流通板及一撓性板，該撓性板具有一可動部；

(b)將該可變形基座結構的該撓性板及該流通板相互堆疊接合并實施一預制同步變形作業，使該撓性板及該流通板進行同步變形構成一預制成型的同步變形結構；以及

(c)依序將該殼體、該壓電致動器及該可變形基座結構相互堆疊，并進行定位接合，該可變形基座結構的該預制成型的同步變形結構為相對于該振動板的該突出部，以使該撓性板的該可動部與該振動板的該突出部之間定義出一特定深度。

2.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的該可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一彎曲同步變形結構，該彎曲同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

3.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的該可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一錐形同步變形結構，該錐形同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

4.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的該可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一凸塊平面同步變形結構，該凸塊平面同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

5.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的可動部區域及超出可動部區域，該預制成型的同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

6.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的可動部區域及超出可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一彎曲同步變形結構，該彎曲同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

7.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的可動部區域及超出可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一錐形同步變形結構，該錐形同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

8.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構的一同步變形區域為在該撓性板的可動部區域及超出可動部區域，且該預制成型的同步變形結構為一凸塊平面同步變形結構，該凸塊平面同步變形結構與該振動板的突出部之間定義出一特定深度。

9.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構為該流通板及該撓性板所構成的一曲面同步變形結構，該曲面同步變形結構為多個不相同曲率的曲面所構成，該撓性板的該曲面同步變形結構與該振動板的該突出部之間定義出一特定深度。

10.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構為該流通板及該撓性板所構成的一曲面同步變形結構，該曲面同步變形結構為多個相同曲率的曲面所構成，該撓性板的該曲面同步變形結構與該振動板的該突出部之間定義出一特定深度。

11.如權利要求1所述的流體控制裝置的制造方法，其特征在于，該預制成型的同步變形結構為該流通板及該撓性板所構成的一不規則狀同步變形結構，該撓性板的該不規則狀同步變形結構與該振動板的該突出部之間定義出一特定深度。