[發明專利]一種掩模版Y向定位裝置和方法以及一種掩模版傳輸系統

有效

• 申請號: 201610795158.1
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107783381B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 馬方波;吳福龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種掩模版Y向定位裝置，其特征在于，包括推桿結構和過位保護結構，所述過位保護結構推動所述推桿結構向掩模版運動并吸收掩模版Y向定位時多余的作用力。

2.如權利要求1所述的掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述過位保護結構與所述推桿結構垂直連接。

3.如權利要求1所述的掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述推桿結構包括推桿和凸輪隨動器，所述推桿底部連接所述凸輪隨動器。

4.如權利要求3所述的掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述推桿帶動所述凸輪隨動器碰觸所述掩模版邊緣，并推動所述掩模版。

5.如權利要求1所述的掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述過位保護結構包括彈性組件、導軌滑塊和驅動元件，所述驅動元件一端連接所述彈性組件，另一端連接所述導軌滑塊。

6.如權利要求1所述的掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述Y向定位裝置還包括支架，導軌限位塊，轉接板；所述轉接板連接所述驅動元件和導軌滑塊；所述導軌限位塊位于所述導軌滑塊一側，限制導軌滑塊的運動范圍；所述支架位于導軌滑塊上。

7.如權利要求5所述掩模版Y向定位裝置，其特征在于，所述驅動元件驅動所述推桿結構向掩模版運動。

8.如權利要求5所述掩模版Y向定位裝置，其特征在于，在掩模版受到的作用力超出掩模版的承受范圍時，導軌滑塊滑動，壓縮彈性組件，吸收掩模版Y向定位時多余的作用力。

9.一種掩模版傳輸系統，其特征在于，包括掩模版Y向定位裝置，取放版機械手，取放版機械手版叉，交換版機械手；所述掩模版Y向定位裝置連接交換版機械手，取放版機械手版叉連接取放版機械手，其中，所述掩模版Y向定位裝置為如權利要求1-8中任意一項所述的掩模版Y向定位裝置。

10.如權利要求9所述的掩模傳輸系統，其特征在于，還包括掩模版底座定位塊，所述掩模版底底座定位塊安裝在取放版機械手版叉上。

11.如權利要求9所述的掩模傳輸系統，其特征在于，所述取放版機械手版叉輸送和放置掩模版。

12.如權利要求9所述的掩模傳輸系統，其特征在于，所述取放版機械手版叉在所述取放版機械手的帶動下，向所述掩模版Y向定位裝置所在方向移動，并使所述掩模版和所述掩模版Y向定位裝置接觸。

13.如權利要求10所述的掩模傳輸系統，其特征在于，所述掩模版底座定位塊與所述掩模版Y向定位裝置相對設置，所述掩模版底座定位塊與所述掩模版Y向定位裝置共同限定掩模版的運動范圍。

14.一種掩模版Y向定位方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1:取放版機械手版叉輸送掩模版至指定位置；

步驟2:過位保護結構推動推桿結構向掩模版所在方向運動；

步驟3:取放版機械手版叉繼續推動掩模版移動，直至掩模版與掩模版Y向定位裝置接觸；

步驟4:取放版機械手版叉繼續推動掩模版到達一交接位；

步驟5:掩模版到達交接位后，過位保護結構被壓縮，吸收掩模版Y向定位時多余的作用力。

15.如權利要求14所述的掩模版Y向定位方法，所述過位保護結構包括彈性組件、導軌滑塊和驅動元件，所述驅動元件一端連接所述彈性組件，另一端連接所述導軌滑塊。

16.如權利要求15所述的掩模版Y向定位方法，其特征在于，所述所述驅動元件動推動推桿結構向掩模版所在方向運動。

17.如權利要求15所述的掩模版Y向定位方法，其特征在于，通過所述導軌滑塊滑動，壓縮所述彈性組件，吸收掩模版Y向定位時多余的作用力。