[發(fā)明專利]蒸鍍掩膜及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610772120.2
• 申請(qǐng)日: 2016-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN107419217B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田丸裕仁;小林良弘;石川樹一郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麥克賽爾株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 丁文蘊(yùn);宋春華

1.一種蒸鍍掩膜，其具備：掩膜主體(2)，其具備由多個(gè)獨(dú)立的蒸鍍通孔(5)構(gòu)成的蒸鍍圖案(6)；以及加強(qiáng)用的框體(3)，其配置于掩膜主體(2)的周圍，且由低熱線膨脹系數(shù)的金屬板材構(gòu)成，

上述蒸鍍掩膜的特征在于，

掩膜主體(2)和框體(3)經(jīng)由金屬層(8)接合成不可分離的一體，

框體(3)由形成為相同形狀的上框(16)和下框(17)構(gòu)成，上框(16)和下框(17)經(jīng)由粘結(jié)層(18)接合而一體化，

將構(gòu)成框體(3)的上框(16)與下框(17)的厚度尺寸設(shè)置成相同厚度，將上框(16)和下框(17)以突弧面或者凹弧面彼此對(duì)置的狀態(tài)接合，在將上框(16)及下框(17)的二維曲面或者三維曲面狀的翹曲抵消了的狀態(tài)，框體(3)形成為平坦?fàn)睢?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜，其特征在于，

層疊多個(gè)框體(3)，并將在層疊方向上鄰接的框體(3)彼此經(jīng)由粘結(jié)層(19)接合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍掩膜，其特征在于，

掩膜主體(2)形成為長(zhǎng)方形狀，多個(gè)掩膜主體(2)配置成矩陣狀，

框體(3)具備外周框(10)和在外周框(10)內(nèi)劃分出多個(gè)掩膜開口(11)的格子框狀的縱框(12)及橫框(13)，

在將與掩膜主體(2)的長(zhǎng)邊平行的縱框(12)的寬度尺寸設(shè)為W1、且將與掩膜主體(2)的短邊平行的橫框(13)的寬度尺寸設(shè)為W2時(shí)，設(shè)定為縱框(12)的寬度尺寸W1和橫框(13)的寬度尺寸W2滿足不等式W1≤W2≤W1×1.1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍掩膜，其特征在于，

金屬層(8)與掩膜主體(2)一體形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍掩膜，其特征在于，

具備：支撐框架(46)，其固定于框體(3)的下表面；以及輔助框架(47)，其固定于支撐框架(46)的下表面，

在支撐框架(46)形成有與框體(3)的掩膜開口(11)對(duì)應(yīng)的框架開口(48)，

框架開口(48)形成為比掩膜開口(11)大一圈的開口形狀，框體(3)的縱框(12)及橫框(13)整體被支撐框架(46)支撐，

輔助框架(47)形成為框狀，支撐框架(46)的四周緣被輔助框架(47)支撐。

6.一種蒸鍍掩膜制造方法，上述蒸鍍掩膜具備：掩膜主體(2)，其在圖案形成區(qū)域(4)內(nèi)具有由多個(gè)獨(dú)立的蒸鍍通孔(5)形成的蒸鍍圖案(6)；以及加強(qiáng)用的框體(3)，其配置于掩膜主體(2)的周圍，且由低熱線膨脹系數(shù)的金屬板材構(gòu)成，

上述蒸鍍掩膜制造方法的特征在于，包括：

框體形成工序，形成加強(qiáng)用的框體(3)，將構(gòu)成框體(3)的上框(16)與下框(17)的厚度尺寸設(shè)置成相同厚度；

一次構(gòu)圖工序，在凹模(24)的表面設(shè)置具有與蒸鍍通孔(5)對(duì)應(yīng)的抗蝕劑體(29a)的一次圖案抗蝕劑(29)；

第一電鑄工序，使用一次圖案抗蝕劑(29)在凹模(24)上電鑄電鍍金屬，且在該凹模(24)上在預(yù)定位置形成多個(gè)與掩膜主體(2)對(duì)應(yīng)的一次電鑄層(30)；

框體配置工序，在以與框體(3)的各掩膜開口(11)對(duì)應(yīng)的一次電鑄層(30)位于該掩膜開口(11)內(nèi)的方式進(jìn)行對(duì)位的同時(shí)，在凹模(24)上配置框體(3)；

第二電鑄工序，在覆蓋框體(3)的表面和掩膜主體(2)的圖案形成區(qū)域(4)的外周緣(4a)的表面的狀態(tài)下，利用電鑄法形成金屬層(8)，并經(jīng)由該金屬層(8)將一次電鑄層(30)和框體(3)接合成不可分離的一體；以及

剝離工序，從凹模(24)一體剝離一次電鑄層(30)、框體(3)以及金屬層(8)，

在框體形成工序中包括接合工序而形成框體(3)，上述接合工序在上框(16)和下框(17)的突弧面或者凹弧面彼此對(duì)置的狀態(tài)下，用粘結(jié)層(18)接合上框(16)和下框(17)，并在將上框(16)及下框(17)的二維曲面或者三維曲面狀的翹曲抵消了的狀態(tài)下，將框體(3)形成為平坦?fàn)睢?/p>