[發(fā)明專利]Cr2O3摻雜Al2O3濺射靶材的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610752565.4
• 申請日: 2016-08-29
• 公開（公告）號: CN106282943B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈澤夏;莊志杰;諸斌;顧宗慧
• 申請（專利權(quán)）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 郭春遠(yuǎn)

1.Cr₂O₃摻雜Al₂O₃濺射靶材的制備方法，制備方法具體包含以下步驟：

1)：選擇粒徑為0.5-6μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為0.5％-2％；

2)：將原料粉裝入鋼模中壓制，壓制壓力為10-30MPa；

3)：將壓制好的毛坯放置在平整剛玉托盤上，置于大氣燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1400℃—1600℃，1200℃之前升溫速度為20℃/min，1200℃以上升溫速度為5℃/min，最高溫度保持5—10小時；

4)：降溫后對半成品進(jìn)行加工處理，確保所有平面保持平整，并且角部成直角，得到Cr₂O₃摻雜Al₂O₃濺射靶材；其特征在于：

選擇粒徑為0.5-3μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為0.5％，成型壓力為16MPa，燒結(jié)時間為6小時，制得的靶材相對理論密度為94.6％；

選擇粒徑為0.5-3μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為0.5％，成型壓力為20MPa，燒結(jié)時間為6小時，制得的靶材相對理論密度為96.1％；

選擇粒徑為0.5-3μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為0.5％，成型壓力30MPa，燒結(jié)時間6小時，靶材相對理論密度96％；

選擇粒徑為0.5-3μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為1％，成型壓力30MPa，燒結(jié)時間10小時，靶材相對理論密度98.3％；

選擇粒徑為3-5μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉為原料，按比例混合均勻，其中Cr₂O₃的質(zhì)量含量為1％，成型壓力30MPa，燒結(jié)時間10小時，靶材相對理論密度95％。