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[發明專利]多晶硅柱體及多晶硅晶片在審

專利信息
申請號: 201610729471.5 申請日: 2016-08-26
公開(公告)號: CN106480499A 公開(公告)日: 2017-03-08
發明(設計)人: 楊承叡;林煌偉;楊瑜民;莊國偉;蕭明恭;張元嘯;王柏凱;余文懷;許松林;李依晴;徐文慶 申請(專利權)人: 中美矽晶制品股份有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;C30B28/06;H01L29/06
代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙)31218 代理人: 翟羽
地址: 中國臺灣新竹*** 國省代碼: 中國臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 柱體 晶片
【權利要求書】:
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