[發明專利]光刻機的溫度變頻調節系統及調節方法在審
| 申請號： | 201610723913.5 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN106292774A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 黃建 | 申請（專利權）人： | 志圣科技（廣州）有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/20 | 分類號： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙)44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 溫度 變頻 調節 系統 方法 | ||
【說明書】：
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