[發明專利]光刻機的溫度變頻調節系統及調節方法在審
| 申請號： | 201610723913.5 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN106292774A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 黃建 | 申請（專利權）人： | 志圣科技（廣州）有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/20 | 分類號： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙)44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 溫度 變頻 調節 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于志圣科技（廣州）有限公司，未經志圣科技（廣州）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610723913.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：模塊集成系統采暖熱水爐
- 下一篇：一種中部能延展的散熱片
