[發明專利]板形電子部件和包含此的靜電卡盤

在審

• 申請號: 201610717071.2
• 申請日: 2016-08-24
• 公開（公告）號: CN106971971A
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 朱鎮卿;李澤正;徐庸原;金斗永;洪政吾
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H02N13/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 孫昌浩,李盛泉

1.一種板形電子部件，包括：

主體；以及

內部電極，布置在所述主體內，

其中，所述主體為包含氧化鋁的陶瓷主體，所述內部電極包含鎳。

2.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

所述主體是具有鎳的熔點以下的燒制溫度的陶瓷主體。

3.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

所述主體是具有1350℃以下的燒制溫度的陶瓷主體。

4.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

所述主體是具有1×10¹⁵Ω·cm以上的電阻率的陶瓷主體。

5.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

所述主體內包含的所述氧化鋁的平均晶體粒徑為500nm以下。

6.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

所述主體內含有的氧化鋁的含量為以全部的主體含量為基準的85wt％至96wt％。

7.如權利要求1所述的板形電子部件，其中，

在所述主體內，除了氧化鋁以外還包括：Ca、Mg、Si、Ti和它們的氧化物中的一種以上。

8.如權利要求7所述的板形電子部件，其中，

所述主體內含有的TiO₂氧化物沿著燒制的氧化鋁晶體粒徑的晶界面而分布。

9.一種靜電卡盤，包括：

基底，包括電極連接器；以及

板形電子部件，布置在所述基底上，

其中，所述板形電子部件包括連接到內部電極的電極孔，所述電極孔連接到所述電極連接器，

所述板形電子部件包括主體以及布置在所述主體內的內部電極，所述主體是包含氧化鋁的陶瓷主體，所述內部電極包含鎳。

10.如權利要求9所述的靜電卡盤，其中，

所述主體是具有所述鎳的熔點以下的燒制溫度的陶瓷主體。

11.如權利要求9所述的靜電卡盤，其中，

所述主體是具有1350℃以下的燒制溫度的陶瓷主體。

12.如權利要求9所述的靜電卡盤，其中，

所述主體是具有1×10¹⁵Ω·cm以上的電阻率的陶瓷主體。

13.如權利要求9所述的靜電卡盤，其中，

所述主體內包含的所述氧化鋁的平均晶體粒徑為500nm以下。

14.如權利要求9所述的靜電卡盤，其中，

所述主體內含有的氧化鋁的含量為以全部的主體含量為基準的85wt％至96wt％。

15.如權利要求1所述的靜電卡盤，其中，

在所述主體內除了氧化鋁，還包括：Ca、Mg、Si、Ti和它們的氧化物中的一種以上。

16.如權利要求15所述的靜電卡盤，其中，

所述主體內含有的TiO₂沿著燒制的氧化鋁晶體粒徑的晶界面而分布。