[發明專利]缺陷隔離系統與檢測電路缺陷的方法

有效

• 申請號: 201610694195.3
• 申請日: 2016-08-19
• 公開（公告）號: CN106814069B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 王威智;陳碧真;陳華生
• 申請（專利權）人: 美光科技公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 宋獻濤

本發明公開了一種缺陷隔離系統以及一種檢測電路缺陷的方法。其中一特征在于，利用可移動的第二探針掃瞄欲檢測的檢測線，并獲取輸出信號，以借此精確的找到缺陷部。本發明的另一特征在于，利用切割器，逐步將部分的檢測線電性隔離，因此可以縮小檢測范圍的目的。本發明可以節省大量分析時間，并且適用于更小體積的器件檢測。

技術領域

本發明涉及缺陷檢測技術，特別是涉及一種通過切割方式將檢測范圍縮小，以將缺陷隔離的檢測方法。

背景技術

半導體存儲器內包含許多呈現陣列排列的存儲單元，其中，每一個半導體存儲器可以包含的存儲單元數量多寡由各存儲單元的體積大小來決定。隨著包含的存儲單元的數量增多，半導體存儲器產生缺陷或損壞的機率也因此增大，當其中一個存儲單元損壞時，將有可能造成整個半導體存儲器無法使用。因此，對半導體存儲器進行缺陷檢測，是一個重要的步驟。

現有用于檢測存儲器的測試技術，包含對欲檢測的存儲器系統中的各存儲單元輸入一預定的輸入值(例如是一電壓值)，接著再讀取所述存儲單元的輸出值是否符合原先的預期。若輸出的數值并不符合預期，代表此欲檢測的存儲器系統之中至少包含部分缺陷。

但是，隨著技術的進步，存儲器系統的結構也隨之更加復雜，若使用上述的檢測方法針對復雜結構的存儲器系統進行檢測，將會花費大量時間。因此，本技術領域仍然需要一種新的存儲器系統的檢測方法，可在更短時間內檢測出更復雜結構的存儲器系統的缺陷。

發明內容

本發明公開一種檢測電路缺陷的方法，至少包含以下步驟：首先進行步驟(a):提供一檢測線位于一檢測區域內，其中所述檢測線包含一缺陷部位于其中。接著步驟(b):提供一第一探針以及一第二探針，其中所述第一探針接觸所述檢測線的一端點，用來提供一輸入信號于所述檢測區域內的所述檢測線，且所述第二探針接觸所述檢測線的另一端點，用來接收一輸出信號。然后進行步驟(c):通過一切割器以切割所述檢測線，移除所述檢測區域內的部分所述檢測線，并且定義一剩余檢測線。后續，進行步驟(d):移動所述第二探針以接觸所述剩余檢測線的一端點，以得到一新輸出信號，其中當所述缺陷部位于所述剩余檢測線之外的區域時，所述新輸出信號是一正常信號，當所述缺陷部位于所述剩余檢測線之內的區域時，所述新輸出信號是一異常信號。接著，進行步驟(e):重復上述步驟(c)與步驟(d)，直到所述新輸出信號成為所述正常信號，以得到一缺陷定位區段，其中所述缺陷部位于所述缺陷定位區段之內。

本發明另提供一種缺陷隔離系統，包含位于一檢測區域的一檢測線，一缺陷部位于其中。一第一探針接觸所述檢測線的一端點，用來提供一輸入信號于所述檢測區域內的所述檢測線。一第二探針，沿著位于所述檢測區域內的所述檢測線的多數個接觸件與多數個金屬線結構進行掃描，并接收所述檢測線的一輸出信號。另外還包含用于電性隔離所述檢測區域內的部分所述檢測線的一切割器。

本發明提供的缺陷隔離系統以及檢測電路缺陷的方法，其中一特征在于，利用可移動的第二探針掃瞄欲檢測的檢測線，并獲取輸出信號，以借此精確的找到缺陷部。本發明的另外一特征在于，利用切割器逐步將部分的檢測線電性隔離，因此可以達到縮小檢測范圍的目的。由于檢測的范圍縮小，因此可以更快速找到缺陷所在位置。本發明可以節省大量分析時間，并且適用于更小體積的器件檢測。

附圖說明

圖1說明根據本發明第一優選實施例所提供的一檢測線以及一缺陷隔離系統。

圖2說明一緊縮缺陷的示例。

圖3說明根據本發明第二優選實施例所提供的一檢測線以及一缺陷隔離系統。

圖4說明一剩余檢測線再次被切割器所切割的狀況。

圖5說明本發明切割器的結構。

其中，附圖標記說明如下：

1 靜態隨機存取存儲器(DRAM)