[發(fā)明專利]缺陷隔離系統(tǒng)與檢測(cè)電路缺陷的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610694195.3
• 申請(qǐng)日: 2016-08-19
• 公開（公告）號(hào): CN106814069B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王威智;陳碧真;陳華生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美光科技公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 宋獻(xiàn)濤

1.一種檢測(cè)電路中缺陷的方法，其至少包含以下步驟：

步驟(a):提供檢測(cè)線及位于其中的缺陷部；

步驟(b):提供第一探針和第二探針，其中所述第一探針接觸所述檢測(cè)線的一端點(diǎn)以將輸入信號(hào)提供至檢測(cè)區(qū)域中的所述檢測(cè)線，且所述第二探針接觸所述檢測(cè)線的另一端點(diǎn)以接收輸出信號(hào)；

步驟(c):使用切割器切割所述檢測(cè)線以移除所述檢測(cè)區(qū)域的所述檢測(cè)線的區(qū)段且界定剩余檢測(cè)線；

步驟(d):移動(dòng)所述第二探針以接觸所述剩余檢測(cè)線的端點(diǎn)，以得到新輸出信號(hào)，其中當(dāng)所述缺陷部位于所述剩余檢測(cè)線之外時(shí)，所述新輸出信號(hào)為位于由用戶設(shè)置的預(yù)定范圍內(nèi)的正常信號(hào)，且當(dāng)所述缺陷部位于所述剩余檢測(cè)線之內(nèi)時(shí)，所述新輸出信號(hào)為位于由所述用戶設(shè)置的所述預(yù)定范圍之外的異常信號(hào)；以及

步驟(e):重復(fù)所述步驟(c)與步驟(d)，直到所述新輸出信號(hào)成為所述正常信號(hào)，以獲得缺陷定位區(qū)段，其中所述缺陷定位區(qū)段具有位于其中的所述缺陷部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)所述步驟(c)與步驟(d)重復(fù)執(zhí)行n次時(shí)，所述新輸出信號(hào)成為所述正常信號(hào)，且所述缺陷定位區(qū)段為在第n次的步驟(c)期間被移除的所述檢測(cè)線的區(qū)段。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述檢測(cè)線的總長(zhǎng)度是所述缺陷定位區(qū)段長(zhǎng)度的5～20倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一探針與交流AC電壓源連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一探針與所述第二探針各自具有末端部，且所述第一探針的所述末端部的曲率半徑與所述第二探針的所述末端部的曲率半徑均小于300納米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第二探針為可移動(dòng)的，且所述第二探針是由壓電回饋系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述切割器將向下力施加至所述檢測(cè)區(qū)域的所述檢測(cè)線，或施加至所述剩余檢測(cè)區(qū)域的所述檢測(cè)線，其中所述向下力是大于10nN的。

8.一種缺陷隔離系統(tǒng)，其包含：

檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)線，其具有位于其中的缺陷部；

第一探針，其接觸檢測(cè)線的端點(diǎn)以將輸入信號(hào)提供至所述檢測(cè)區(qū)域中的所述檢測(cè)線；

第二探針，其沿著所述檢測(cè)區(qū)域的所述檢測(cè)線進(jìn)行接觸、掃描和檢測(cè)以接收所述檢測(cè)線的輸出信號(hào)；以及

切割器，其用于電隔離所述檢測(cè)區(qū)域的所述檢測(cè)線的部分。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷隔離系統(tǒng)，其中所述第一探針與交流AC電壓源相連。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷隔離系統(tǒng)，其中所述第一探針與所述第二探針各自包含末端部，且所述第一探針的所述末端部的曲率半徑與所述第二探針的所述末端部的曲率半徑均小于300納米。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷隔離系統(tǒng)，其中所述第二探針為可移動(dòng)的，且所述第二探針是由壓電回饋系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)的。