[發(fā)明專利]一種有機發(fā)光器件的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610692105.7 | 申請日: | 2016-08-22 |
| 公開(公告)號: | CN106207014B | 公開(公告)日: | 2018-02-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 廖良生;王照奎;張磊;周東營 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州大學(xué) |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200 | 代理人: | 曹毅 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 有機 發(fā)光 器件 制備 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,尤其涉及一種有機發(fā)光器件的制備方法。
背景技術(shù)
有機電致發(fā)光二極管(OLED)被認為是“夢幻顯示”。 目前,OLED已經(jīng)成功應(yīng)用于智能手機、手表以及平板電腦等電子產(chǎn)品。
OLED是一種自發(fā)光器件,通過在一對電極間夾著功能層且施加電壓,從電子傳輸層注入的電子和空穴傳輸層注入的空穴在發(fā)光層復(fù)合形成激子,并且該激子在回到基態(tài)時發(fā)出可見光。為了提升OLED器件的性能,OLED經(jīng)歷了從熒光發(fā)光、磷光發(fā)光到延遲熒光發(fā)光的演化過程。目前OLED的器件可以達到很高的效率。要想進一步提升OLED器件的效率以及實用性,需要OLED具有更低的驅(qū)動電壓。同時OLED的器件的壽命還有待進一步提高。壽命的短板制約著OLED的產(chǎn)業(yè)化進程。
目前可以通過空穴傳輸層的p型摻雜(比如在空穴傳輸材料NPB中摻雜MoO3或者F4-TCNQ),達到提高空穴傳輸性能以及空穴注入能力的目的。摻雜之后的器件驅(qū)動電壓有很大的降低。但是在增強空穴注入傳輸能力的同時,會帶來空穴電子不平衡的問題,使得OLED器件無法發(fā)揮最大性能。
如果我們同時在電子傳輸層引入n型摻雜(比如在電子傳輸材料TPBi中摻雜Li或者CsCO3),可以提高電子傳輸以及注入能力。同時具有p型和n型摻雜的器件驅(qū)動電壓有進一步的降低,而且激子復(fù)合更加平衡,器件效率進一步提升。
然而由于n型摻雜的客體摻雜比率很小,很難在工業(yè)生產(chǎn)中長期控制它的比率,而且使用的摻雜劑Li或者CsCO3對從Al電極透過的水氣十分敏感,容易造成器件的發(fā)光退化。
要想解決這些問題,可以在n型電子注入層之上加入一層保護層,將不穩(wěn)定的摻雜材料Li或CsCO3和Al電極隔絕開,同時還不影響電子的注入和傳輸。這種保護層的選擇就變得非常關(guān)鍵。
發(fā)明內(nèi)容
解決的技術(shù)問題:針對現(xiàn)有的有機磷光器件壽命短、效率低的缺點,本發(fā)明提供一種有機發(fā)光器件的制備方法,用該制備方法制備得到的有機發(fā)光器件效率高、電壓低、工作壽命長。
技術(shù)方案:一種有機發(fā)光器件的制備方法,該方法的制備步驟如下:
第一步:將ITO透明導(dǎo)電玻璃基片在清洗劑中超聲處理后,進行清洗,再烘烤至干燥,然后用紫外燈和臭氧進行處理,再把處理過的ITO透明導(dǎo)電玻璃基片置于真空腔內(nèi),抽真空至3.0×10-4~4.0×10-4Pa;
第二步:在ITO透明導(dǎo)電玻璃基片上采用雙源蒸鍍的方法蒸鍍混合物A,形成具備空穴注入以及傳輸性能的p型功能層,其中混合物A由摻雜劑和主體材料NPB組成,摻雜劑為MoO3或F4-TCNQ,蒸鍍速率為0.3 ?/s,鍍膜厚度為45 nm;
第三步:在p型功能層上蒸鍍由TAPC或TCTA形成的電子阻擋層,其中蒸鍍速率為2?/s,鍍膜厚度為14 nm;
第四步:在電子阻擋層上采用雙源蒸鍍的方法,將TPBi作為主體材料,PO-01或者Ir(MDQ)2(acac)作為染料制備有機發(fā)光層,其中蒸鍍速率為2?/s,鍍膜厚度為15 nm;
第五步:在有機發(fā)光層上蒸鍍TPBi,形成具有空穴阻擋和電子傳輸作用的電子傳輸層,其中蒸鍍速率為2 ?/s,鍍膜厚度為15 nm;
第六步:在電子傳輸層上采用雙源蒸鍍的方法蒸鍍混合物B,形成具備電子注入以及傳輸性能的n型功能層,其中混合物B由摻雜劑Li和主體材料TPBi組成,蒸鍍速率為2 ?/s,鍍膜厚度為10 nm;
第七步:在n型功能層上采用雙源蒸鍍的方法蒸鍍混合物C,形成具備空穴注入以及傳輸性能的p’型功能層,其中化合物C由摻雜劑和主體材料NPB組成,摻雜劑為MoO3或F4-TCNQ,蒸鍍速率為2 ?/s,鍍膜厚度為35 nm;
第八步:在p’型功能層上真空蒸鍍Al層,形成陰極,即得有機發(fā)光器件,其中Al層的厚度為100nm。
上述所述的第一步中清洗的步驟為先用去離子水沖洗,再依次用去離子水、丙酮、乙醇反復(fù)清洗三次。
上述所述的第一步中將真空腔內(nèi)的真空抽至3.0×10-4Pa。
上述所述的第二步中將NPB作為主體材料,MoO3或F4-TCNQ作為摻雜劑制備p型功能層時,MoO3的摻雜濃度為20 vol.%;F4-TCNQ的摻雜濃度為3 vol.%。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應(yīng)紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉(zhuǎn)換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





