[發明專利]有機層沉積設備、有機發光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201610685453.1
• 申請日: 2016-08-18
• 公開（公告）號: CN106611817B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 金旻首;金武謙;瓦列里·普羅什金斯基;金茂顯;李東規;李丙國;河在秀
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;楊莘

公開了有機發光顯示裝置、用于沉積有機發光顯示裝置的有機層的設備，以及通過使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法。用于沉積有機層的設備包括沉積部，沉積部包括與襯底間隔開的沉積組件。沉積組件包括配置為加熱沉積材料的沉積源、安裝在沉積源上的沉積源噴嘴單元、面對沉積源噴嘴單元的多個圖案板以及布置在沉積源與多個圖案板之間的源遮板。沉積源噴嘴單元包括沉積噴嘴。多個圖案板包括多個第一圖案化縫隙和多個第二圖案化縫隙中的至少一個。源遮板配置為根據沉積源與襯底的相對位置允許沉積材料穿過多個圖案板中的一個。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2015年10月27日提交的第10-2015-0149735號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請通過引用并入本文，就各方面而言都如同在本文中完全闡述一樣。

技術領域

示例性實施方式涉及裝置、設備和方法。更具體地，示例性實施方式涉及有機發光顯示裝置、用于沉積有機發光顯示裝置的有機層的設備、以及通過使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法。

背景技術

有機發光顯示裝置具有可視角度寬、對比度優良以及響應速度快的優點。由于這些優點，有機發光顯示裝置被定位為下一代顯示裝置。

通常，有機發光顯示裝置具有這樣的層，該層通過將具有圖案的開口的精細金屬掩模(FMM)緊密附接在襯底上以及將該層沉積在襯底上而形成，其中該圖案與待形成的層的圖案相同或者相似。

然而，因為由大尺寸掩模的重量產生掩模的扭曲以及可由扭曲產生的圖案的變形，所以使用精細金屬掩模的方法具有不適于制造具有大尺寸母玻璃的大尺寸有機發光顯示裝置的限制。這與需要高清圖案的當前趨勢相對立。

另外，執行將襯底與精細金屬掩模對準和緊密附接的過程、執行沉積的過程以及隨后將襯底與精細金屬掩模分離的過程花費相當多的時間。因此，制造花費時間長并且生產效率低。

在本背景技術部分中公開的以上信息僅用于增強對本發明構思的背景的理解，以及因此，其可包括不形成在本國家中對于本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

示例性實施方式提供了有機發光顯示裝置、用于沉積有機層的設備、以及通過使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法。

將在以下具體實施方式部分中陳述附加方面，以及附加方面將部分地通過本公開而變得顯而易見或者可部分地通過對本發明構思的實踐而習得。

示例性實施方式公開了用于沉積有機層的設備，該設備具有沉積部，沉積部包括與襯底間隔開的沉積組件。沉積組件包括配置為加熱沉積材料的沉積源、安裝在沉積源上的沉積源噴嘴單元、面對沉積源噴嘴單元的多個圖案板以及布置在沉積源與多個圖案板之間的源遮板。沉積源噴嘴單元包括沉積噴嘴。多個圖案板包括多個第一圖案化縫隙和多個第二圖案化縫隙中的至少之一。源遮板配置為根據沉積源與襯底的相對位置允許沉積材料穿過多個圖案板中的一個。

另一示例性實施方式公開了制造有機發光顯示裝置的方法。該方法包括：在裝載部將襯底固定至移動部；通過使用設備的第一傳送部在腔室內傳送移動部，設備的第一傳送部安裝為穿過腔室；加熱來自沉積組件的沉積源噴嘴單元的沉積材料；將加熱的沉積材料穿過由源遮板開放的圖案板；當襯底相對于沉積組件移動時，將沉積材料沉積在襯底的不同區域上，沉積組件間隔地布置在腔室內；以及通過使用第二傳送部將移動部傳送至裝載部，第二傳送部安裝為穿過腔室。圖案板面對沉積源噴嘴單元以及包括多個第一圖案化縫隙和多個第二圖案化縫隙中的至少之一，其中，多個第一圖案化縫隙允許沉積材料到達襯底的不同區域中的第一區域，多個第二圖案化縫隙允許沉積材料到達襯底的不同區域中的第二區域。