[發明專利]有機層沉積設備、有機發光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201610685453.1
• 申請日: 2016-08-18
• 公開（公告）號: CN106611817B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 金旻首;金武謙;瓦列里·普羅什金斯基;金茂顯;李東規;李丙國;河在秀
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;楊莘

1.用于沉積有機層的設備，包括：

沉積部，包括與襯底間隔開的沉積組件，

其中，所述沉積組件各自包括：

沉積源，配置為加熱沉積材料；

沉積源噴嘴單元，安裝在所述沉積源上，所述沉積源噴嘴單元包括沉積噴嘴；

多個圖案板，面對所述沉積源噴嘴單元，所述多個圖案板包括多個第一圖案化縫隙和多個第二圖案化縫隙；以及

源遮板，布置在所述沉積源與所述多個圖案板之間，所述源遮板配置為根據所述沉積源與所述襯底之間的相對位置允許所述沉積材料穿過所述多個圖案板中的一個，

其中，所述多個第一圖案化縫隙中的每個以第一間隔間隔開，以及所述多個第二圖案化縫隙中的每個以第二間隔間隔開，所述第二間隔與所述第一間隔不同。

2.根據權利要求1所述的設備，其中：

所述多個圖案板排列在相同平面上；以及

所述源遮板配置為允許所述沉積材料沉積在所述襯底的第一區域和所述襯底的第二區域中的至少之一上。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述多個圖案板中的相鄰圖案板相對于與經過所述相鄰圖案板之間的空間的所述襯底的移動方向平行的任意直線交替地布置。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述襯底的第一區域的面積與所述襯底的第二區域的面積不同。

5.根據權利要求1所述的設備，其中：

所述源遮板包括第一遮板和第二遮板；以及

所述源遮板配置為根據所述第一遮板和所述第二遮板的相對移動阻擋或者開放所述沉積材料的從所述沉積源起的路徑。

6.制造有機發光顯示裝置的方法，所述方法包括：

在裝載部將襯底固定至移動部；

通過使用第一傳送部在腔室內傳送所述移動部，所述第一傳送部安裝為穿過所述腔室；

加熱來自沉積組件的沉積源噴嘴單元的沉積材料；

使所加熱的沉積材料穿過由源遮板開放的圖案板；

當所述襯底相對于所述沉積組件移動時，將所述沉積材料沉積在所述襯底的不同區域上，所述沉積組件間隔地布置在所述腔室內；

在卸載部將具有所述沉積材料的所述襯底與所述移動部分離；以及

通過使用第二傳送部將所述移動部傳送至所述裝載部，所述第二傳送部安裝為穿過所述腔室，

其中，所述圖案板包括排列在相同平面上的多個圖案板，所述沉積組件各自包括所述多個圖案板，所述多個圖案板面對所述沉積源噴嘴單元以及包括：

多個第一圖案化縫隙和多個第二圖案化縫隙，其中所述多個第一圖案化縫隙允許所述沉積材料到達所述襯底的所述不同區域中的第一區域，以及所述多個第二圖案化縫隙允許所述沉積材料到達所述襯底的所述不同區域中的第二區域，以及

其中，所述多個第一圖案化縫隙中的每個以第一間隔間隔開，以及所述多個第二圖案化縫隙中的每個以第二間隔間隔開，所述第二間隔與所述第一間隔不同。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，所述多個圖案板中的相鄰圖案板相對于與所述襯底的移動方向平行的任意直線交替地布置。

8.根據權利要求6所述的方法，其中，所述襯底的所述第一區域的面積與所述襯底的所述第二區域的面積不同。

9.根據權利要求6所述的方法，其中：

所述源遮板包括第一遮板和第二遮板；以及

所述源遮板根據所述第一遮板和所述第二遮板的相對移動阻擋或者開放第一路徑和第二路徑中的至少一個，其中，所述第一路徑從沉積源至所述襯底的所述第一區域，所述第二路徑從所述沉積源至所述襯底的所述第二區域。

10.根據權利要求9所述的方法，其中：

所述源遮板依次地通過移動所述第一遮板和所述第二遮板中的至少一個來開放所述第一路徑以及通過移動所述第一遮板和所述第二遮板中的至少一個來開放所述第二路徑。

11.有機發光顯示裝置，包括：

基襯底；

薄膜晶體管，布置在所述基襯底上，所述薄膜晶體管包括半導體活性層、與所述半導體活性層絕緣的柵電極、接觸所述半導體活性層的源電極以及接觸所述半導體活性層的漏電極；

多個像素電極，布置在所述薄膜晶體管上；

多個有機層，布置在所述多個像素電極上；以及

多個相對電極，布置在所述多個有機層上，

其中，布置在所述基襯底上的所述多個有機層中的至少一個是通過使用權利要求1所述的設備形成的。