[發明專利]抗蝕劑剝離液組合物及使用其的抗蝕劑剝離方法

有效

• 申請號: 201610669090.2
• 申請日: 2016-08-15
• 公開（公告）號: CN106468860B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 崔漢永;高京俊;李喻珍
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;陳彥

1.一種抗蝕劑剝離液組合物，其包含乙醇胺、選自下述化學式2～4所表示的酰胺組成的組中的一種以上的化合物和在苯環具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑：

化學式2

化學式3

化學式4

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其中，所述防腐蝕劑為下述化學式5所表示的化合物：

化學式5

式中，R₁和R₂各自獨立地為鹵素原子、甲基、-NH₂、-NHCOR₃、-OH、-OR₄、-COOR₅、-CONHR₆，R₃～R₆各自獨立地為碳原子數1～12的烷基。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其中，所述防腐蝕劑為選自由下述化學式6～10所表示的化合物組成的組中的一種以上：

化學式6

化學式7

化學式8

化學式9

化學式10

4.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其進一步包含二元醇系溶劑。

5.根據權利要求4所述的抗蝕劑剝離液組合物，其包含乙醇胺0.1～10重量％、在苯環具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑0.01～5重量％、以及選自化學式2～4所表示的酰胺組成的組中的一種以上的化合物和二元醇系溶劑合計85～99重量％。

6.根據權利要求4所述的抗蝕劑剝離液組合物，其包含乙醇胺0.1～10重量％、在苯環具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑0.01～5重量％、選自化學式2～4所表示的酰胺組成的組中的一種以上的化合物15～60重量％和二元醇系溶劑25～75重量％。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的抗蝕劑剝離液組合物，其用于剝離形成有金屬配線的基板的抗蝕劑，所述金屬配線包含選自由鋁、銅和鉬組成的組中的金屬。

8.一種抗蝕劑的剝離方法，其中，用權利要求1～6中任一項所述的抗蝕劑剝離液組合物對蒸鍍有導電性金屬膜的基板的蝕刻工序后殘留的抗蝕劑進行剝離。

9.一種圖像顯示裝置的制造方法，其包括權利要求8中所述的抗蝕劑剝離步驟。