[發明專利]薄膜的檢測系統與檢測方法有效
| 申請號: | 201610657275.1 | 申請日: | 2016-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN106296970B | 公開(公告)日: | 2022-05-20 |
| 發明(設計)人: | 戚務昌;林永輝;張凱 | 申請(專利權)人: | 威海華菱光電股份有限公司 |
| 主分類號: | G07D7/128 | 分類號: | G07D7/128;G07D7/04;G07D7/164 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 趙囡囡;吳貴明 |
| 地址: | 264209 山東省威海*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 薄膜 檢測 系統 方法 | ||
【說明書】:
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