[發(fā)明專利]薄膜的檢測系統(tǒng)與檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610657275.1 | 申請日： | 2016-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN106296970B | 公開（公告）日： | 2022-05-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 戚務(wù)昌;林永輝;張凱 | 申請（專利權(quán)）人： | 威海華菱光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G07D7/128 | 分類號： | G07D7/128;G07D7/04;G07D7/164 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 趙囡囡;吳貴明 |
| 地址： | 264209 山東省威海*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 薄膜 檢測 系統(tǒng) 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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