[發明專利]一種封閉式自體循環的堿性蝕刻液循環再生系統在審
| 申請號： | 201610646086.4 | 申請日： | 2016-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN106011863A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | 韋建敏;趙興文;張曉蓓;張小波 | 申請（專利權）人： | 成都虹華環保科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/46 | 分類號： | C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 封閉式 體循環 堿性 蝕刻 循環 再生 系統 | ||
【權利要求書】：
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