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[發明專利]一種封閉式自體循環的堿性蝕刻液循環再生系統在審

專利信息
申請號: 201610646086.4 申請日: 2016-08-09
公開(公告)號: CN106011863A 公開(公告)日: 2016-10-12
發明(設計)人: 韋建敏;趙興文;張曉蓓;張小波 申請(專利權)人: 成都虹華環保科技股份有限公司
主分類號: C23F1/46 分類號: C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/00
代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 610000 四*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 封閉式 體循環 堿性 蝕刻 循環 再生 系統
【說明書】:
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