[發明專利]微波輔助晶相控制有機電致發光器件制備方法

有效

• 申請號: 201610644147.3
• 申請日: 2016-08-09
• 公開（公告）號: CN106207011B
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 畢海
• 申請（專利權）人: 蘇州華萊德電子科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 蘇州廣正知識產權代理有限公司32234
• 代理人: 徐萍

1.一種微波輔助晶相控制有機電致發光器件制備方法，其特征在于，采用無定形膜微波處理的方法對事先制備完成的Alq₃無定形膜進行微波處理，再通過對面對面緊密放置的表面沉積有Alq₃膜的基片進行退火，使Alq₃實現納微米材料的生長以及晶相的轉變，從而制備了面式或經式Alq₃薄膜材料，包括以下具體步驟：

步驟1：以石英玻璃或硅片為基底，基底上預先制備好電極，在基底上真空沉積制備Alq₃無定形膜，其中，所述的Alq₃無定形膜是采用高真空5*10-4 Pa 大氣壓蒸鍍的方式制備得到的；

步驟2：將兩片Alq₃無定形膜的基底相對疊放在一起，并安放在一個玻璃容器中，在氮氣氛圍下放置于微波發生器中，在950兆赫至2450兆赫強度下處理5分鐘；

步驟3：停止微波處理，即可在兩片基底表面上分別得到面式或經式Alq₃納微米薄膜；

步驟4：制備基于面式或經式Alq₃納微米結構超薄膜的單載流子傳輸器件。

2.根據權利要求1所述的微波輔助晶相控制有機電致發光器件制備方法，其特征在于，所述的Alq₃無定形膜的厚度為50-2000 nm。

3.根據權利要求1所述的微波輔助晶相控制有機電致發光器件制備方法，其特征在于，所述的面式或經式Alq₃納微米薄膜的厚度為100 nm以下。

4.根據權利要求1所述的微波輔助晶相控制有機電致發光器件制備方法，其特征在于，所述的石英玻璃包括金薄膜和導電高分子材料基底。