[發(fā)明專(zhuān)利]微波輔助晶相控制有機(jī)電致發(fā)光器件制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610644147.3
• 申請(qǐng)日: 2016-08-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106207011B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 畢海
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州華萊德電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/56
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/56
• 代理公司: 蘇州廣正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32234
• 代理人: 徐萍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及的技術(shù)領(lǐng)域?qū)儆谟袡C(jī)/配合物光電材料與器件領(lǐng)域，本發(fā)明是關(guān)于一種配合物小分子三（8-羥基喹啉）鋁（Alq₃）單一材料器件制備方法，尤其是通過(guò)無(wú)定形膜微波輔助技術(shù)分別制備具有電子（經(jīng)式結(jié)構(gòu)）和空穴傳輸能力（面式結(jié)構(gòu)）的薄膜，并最終制得單一材料晶相可控有機(jī)電致發(fā)光器件。

背景技術(shù)

有機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料在有機(jī)電致發(fā)光，場(chǎng)效應(yīng)晶體管以及太陽(yáng)能電池等眾多領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，Alq₃作為經(jīng)典的有機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料一直受到廣泛的關(guān)注和研究。作為一個(gè)典型的配合物，Alq₃分子具有經(jīng)式和面式兩種同分異構(gòu)體結(jié)構(gòu)（見(jiàn)圖1和圖2）。有關(guān)研究證明Alq₃分子通常情況下以經(jīng)式結(jié)構(gòu)存在，而面式Alq₃分子可以通過(guò)高溫?zé)崽幚斫?jīng)式Alq₃來(lái)獲得（J. Physics: Condensed Matter, 2005, 17, 6271-6283, Paramagnetic defect centres in crystalline Alq₃; Advanced Functional Materials, 2003, 13, 108-112, Preparation and characterization of blue-luminescent tris(8-hydroxyquinaline)aluminum (Alq₃)）。最近幾年有一些關(guān)于Alq₃納微米材料的報(bào)道（Advanced Functional Materials，2006，16，1985-1991，Photoluminescence and electroluminescence from tris(8-hydroxyquinoline)aluminum nanowires prepared by adsorbent-assisted physical vapor deposition；Advanced Functional Materials，2006，16，819-823，Crystallization of amorphous tris(8-hydroxyquinoline)aluminum nanoparticles and transformation to nanowires; Advanced Materials, 2008, 20, 2747-2750, Alq₃ nanorods: Promising building blocks for optical devices.），目前的器件制備及應(yīng)用過(guò)程中，Alq₃往往被用于電子傳輸材料和綠光發(fā)光材料。如何制備具有空穴傳輸能力的Alq₃的納微薄膜材料，尤其是面式Alq₃納微米薄膜材料也是一個(gè)非常重要的問(wèn)題，因?yàn)槊媸紸lq₃納微米薄膜材料可以用于一些光電器件的制備和組裝。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種微波輔助晶相控制有機(jī)電致發(fā)光器件制備方法，提供空穴傳輸能力的面式結(jié)構(gòu)的三（8-羥基喹啉）鋁（fac-Alq₃）薄膜的制備方法進(jìn)而實(shí)現(xiàn)單一材料的晶相可控有機(jī)電致發(fā)光器件。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供了一種微波輔助晶相控制有機(jī)電致發(fā)光器件制備方法，采用無(wú)定形膜微波處理的方法對(duì)事先制備完成的Alq₃無(wú)定形膜進(jìn)行微波處理，再通過(guò)對(duì)面對(duì)面緊密放置的表面沉積有Alq₃膜的基片進(jìn)行退火，使Alq₃實(shí)現(xiàn)納微米材料的生長(zhǎng)以及晶相的轉(zhuǎn)變，從而制備了面式或經(jīng)式Alq₃薄膜材料，包括以下具體步驟：

步驟1：以石英玻璃或硅片為基底，基底上預(yù)先制備好電極，在基底上真空沉積制備Alq₃無(wú)定形膜；

步驟2：將兩片Alq₃無(wú)定形膜的基底相對(duì)疊放在一起，并安放在一個(gè)玻璃容器中，在氮?dú)夥諊路胖糜谖⒉òl(fā)生器中，在950兆赫至2450兆赫強(qiáng)度下處理5分鐘；

步驟3：停止微波處理，即可在兩片基底表面上分別得到面式或經(jīng)式Alq₃納微米薄膜；

步驟4：制備基于面式或經(jīng)式Alq₃納微米結(jié)構(gòu)超薄膜的單載流子傳輸器件。