[發明專利]一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統

有效

• 申請號: 201610643042.6
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN106298413B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 高云;趙雪松;陳一鳴;鄧攀;尚倫;褚乃強
• 申請（專利權）人: 武漢鋼鐵有限公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司42102
• 代理人: 鐘鋒

技術領域

本發明涉及電子光學儀器技術領域，具體涉及一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統。

背景技術

電子顯微儀器具有超高的放大倍數，與其它儀器配合后可以提供觀察樣品的更多信息，因此，電子顯微儀器在許多行業領域得以應用，如電子顯微儀器配合能譜儀可對材料微區成分元素種類與含量進行分析。為實現更低的檢出能量及更多的檢測元素，能譜儀的X射線探測器窗口一般是以鈹元素制成的薄型鈹密封窗或是以其它材料制成的超薄窗。X射線探測器內為真空，而鈹密封窗和超薄窗均為薄膜結構且耐沖突能力較差，窗口內外壓差變化較大時極易造成窗口破損，損傷探測器；在透射電鏡和電子探針等設備的真空泄放中，因操作不當而造成探測器窗口破損的情況時有發生；電子顯微儀器的電子光學鏡筒大多數情況下也處于真空保持狀態，在需要檢修或調試時往往需要泄放真空。

為保護昂貴的電子顯微儀器，要求真空泄放過程中，進氣量前期較小，后期逐步加大。然而真空泄放初期因壓差較大、進氣流速過快易導致進氣量過大，如果操作不當，導致前期進氣量就過大，極易使能譜儀探測器窗口破損，尤其是采用手動氣閥放氣的設備或是設備自動放氣功能處于故障狀態時，真空泄放操作要求工作人員具有較多的經驗，給電子顯微儀器的檢修和調試帶來不便。

發明內容

本發明的目的在于，針對現有技術的不足，提供一種自控控制、安全可靠的用于電子顯微儀器的真空泄放系統。

本發明采用的技術方案是：一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，包括泄放裝置和控制裝置，所述泄放裝置包括泄放管道，泄放管道一端為進氣口，進氣口處設有進氣閥，泄放管道的另一端為排氣口，排氣口通過排氣閥與電子儀器的真空室連通；所述泄放管道上設有復合真空計；所述控制裝置包括控制器，控制器分別與進氣閥、排氣閥和復合真空計電連接。

按上述方案，所述泄放裝置還包括氣室，氣室通過真空閥與泄放管道連通，真空閥與控制器電連接。

按上述方案，所述泄放裝置包括三組氣室和三組真空閥，三組氣室并列設置，分別通過真空閥與泄放管道連通，所述三組真空閥分別與控制器電連接。

按上述方案，所述泄放管道上設有第一支路，第一支路上安設有手動排氣閥。

按上述方案，在泄放管道的進氣口處安設過濾器。

按上述方案，所述泄放管道設有第二支路，所述復合真空計通過聯結夾連接固定在第二支路上。

本發明的有益效果為：本發明采用多個氣室，通過多個氣室的組合實時調整每次進入電子顯微儀器真空室內的氣體量，實現電子顯微儀器在真空泄放過程中進氣量逐次加大，壓力變化控制在安全范圍內，避免了真空泄放初期因壓差過大，進氣流速過快導致進氣量過大，而損壞電子顯微儀器；本發明可在無人工干預的條件下，安全實現泄放真空；本發明結構簡單合理，安全性好，可靠性高，適用范圍廣。

附圖說明

圖1為本發明一個具體實施例的結構示意圖。

圖2為本實施例中泄放裝置的結構示意圖。

其中：1、進氣閥；2、排氣閥；3、手動放氣閥；4、過濾器；5、第一真空閥；6、第二真空閥；7、第三真空閥；8、第一氣室；9、第二氣室；10、第三氣室；11、泄放管道；12、復合真空計；13、聯接夾；14、控制器；15、第一支路；16、第二支路。

具體實施方式

為了更好地理解本發明，下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步地描述。

如圖1所述的一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，包括泄放裝置和控制裝置，所述泄放裝置包括泄放管道11，泄放管道11一端為進氣口，進氣口處設有進氣閥1，泄放管道11的另一端為排氣口，排氣口通過排氣閥與2電子顯微儀器的真空室連通（可通過螺紋或真空法蘭連接）；所述泄放管道11上設有復合真空計12；所述控制裝置包括控制器14，控制器14分別與進氣閥1、排氣閥2和復合真空計12電連接。

優選地，所述泄放裝置還包括多個氣室，每個氣室通過一個真空閥與泄放管道11連通，真空閥與控制器14電連接；本實施例中包括三個氣室（分別為第一氣室8、第二氣室9和第三氣室10，各氣室的容積可不相等），和三個真空閥（分別為第一真空閥5、第二真空閥6和第三真空閥7），三個氣室并列設置，均分別通過真空閥與泄放管道11連通，所述三個真空閥均分別與控制器14電連接。

優選地，所述泄放管道11上設有第一支路15，第一支路15上安設有手動排氣閥3。

優選地，在泄放管道11的進氣口處安設過濾器4，對進入泄放管道11的氣體過濾處理。