[發明專利]一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統

有效

• 申請號: 201610643042.6
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN106298413B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 高云;趙雪松;陳一鳴;鄧攀;尚倫;褚乃強
• 申請（專利權）人: 武漢鋼鐵有限公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司42102
• 代理人: 鐘鋒

1.一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，其特征在于，包括泄放裝置和控制裝置，所述泄放裝置包括泄放管道，泄放管道一端為進氣口，進氣口處設有進氣閥，泄放管道的另一端為排氣口，排氣口通過排氣閥與電子顯微儀器的真空室連通；所述泄放管道上設有復合真空計；所述控制裝置包括控制器，控制器分別與進氣閥、排氣閥和復合真空計電連接；所述泄放裝置還包括氣室，氣室通過真空閥與泄放管道連通，真空閥與控制器電連接。

2.如權利要求1所述的一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，其特征在于，所述泄放裝置包括三組氣室和三組真空閥，三組氣室并列設置，分別通過真空閥與泄放管道連通，所述三組真空閥分別與控制器電連接。

3.如權利要求1所述的一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，其特征在于，所述泄放管道上設有第一支路，第一支路上安設有手動排氣閥。

4.如權利要求1所述的一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，其特征在于，在泄放管道的進氣口處安設過濾器。

5.如權利要求1所述的一種用于電子顯微儀器的真空泄放系統，其特征在于，所述泄放管道設有第二支路，所述復合真空計通過聯結夾連接固定在第二支路上。