[發明專利]晶圓測試機臺的遠端監控方法及系統

有效

• 申請號: 201610640916.2
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN107462821B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 吳展仲;林維瑩;許瑞益;楊志勇
• 申請（專利權）人: 南茂科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 11205 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 馬雯雯;臧建明<國際申請>=<國際公布>

1.一種晶圓測試機臺的遠端監控方法，適于由監控裝置監控多個測試機臺，所述方法包括下列步驟：

通過網絡連線各所述測試機臺，以控制所述測試機臺移入一晶圓；

掛載一準備代碼于所述測試機臺，以控制所述測試機臺讀取所述晶圓的識別參數，并將所讀取的所述識別參數與制造執行系統取得的產品參數比對；

若比對結果相符，依序掛載至少一工作代碼于所述測試機臺，以控制所述測試機臺對所述晶圓上的多個晶粒進行測試，并輸出測試數據；以及

當所述晶圓的所有晶粒完成測試時，控制所述測試機臺移出所述晶圓，

其中依序掛載所述至少一工作代碼于所述測試機臺，以控制所述測試機臺對所述晶圓上的所述晶粒進行測試，并輸出測試數據的步驟包括：

掛載一測試代碼于所述測試機臺，以控制所述測試機臺對所述晶圓上的部分所述晶粒進行第一次測試；

當所述第一次測試結束時，控制所述測試機臺停機，并掛載一檢查代碼于所述測試機臺，以檢查所述第一次測試的結果是否正常；

若所述第一次測試的結果正常，繼續掛載其他所述至少一工作代碼，以控制所述測試機臺對所述晶圓上的其他所述晶粒進行測試，并輸出所述測試數據，直到所述晶圓的所有晶粒皆完成測試；以及

若所述第一次測試的結果不正常，結束所述晶圓的測試。

2.根據權利要求1所述的方法，其中在通過網絡連線各所述測試機臺，以控制所述測試機臺移入所述晶圓的步驟之前，還包括：

校正各所述測試機臺的時間，使得所述測試機臺的所述時間與所述監控裝置的時間一致。

3.根據權利要求1所述的方法，其中當所述晶圓的所有晶粒完成測試時，所述方法還包括：

計算所述晶圓移入及移出所述測試機臺所經過的時間，并根據所述測試機臺進行測試的次數，計算所述測試機臺每進行一次測試所花費的時間。

4.根據權利要求1所述的方法，其中當所述晶圓的所有晶粒完成測試時，所述方法還包括：

累計各所述工作代碼被掛載的時間，以評估所述測試機臺執行所述工作代碼對應的測試工作所花費的時間。

5.根據權利要求1所述的方法，其中依序掛載至少一工作代碼于所述測試機臺，以控制所述測試機臺對所述晶圓上的所述晶粒進行測試，并輸出測試數據的步驟還包括：

判斷所述測試機臺在進行測試時是否發生預先定義的多個事件其中之一；以及

若符合所述事件其中之一，輸出預先定義的所述事件發生時所需的所述測試數據。

6.根據權利要求1所述的方法，還包括：

通過網絡連線各所述測試機臺，以取得各所述測試機臺進行測試所產生的即時信息；以及

顯示由各所述測試機臺取得的所述即時信息于一監控頁面。

7.根據權利要求6所述的方法，其中在顯示各所述測試機臺的所述即時信息在所述監控頁面的步驟之后，還包括：

接收對于所述監控頁面中所述測試機臺其中之一的控制操作；以及

通過所述網絡連線所述控制操作對應的所述測試機臺，以對所述測試機臺進行所述控制操作。

8.根據權利要求7所述的方法，其中在接收對于所述監控頁面中所述測試機臺其中之一的控制操作的步驟之后，還包括：

通過所述網絡連線所述控制操作對應的所述測試機臺，以顯示所述測試機臺的人機界面；以及

接收對于所述人機界面的所述控制操作，據以控制所述測試機臺執行所述控制操作對應的功能。

9.根據權利要求6所述的方法，其中顯示各所述測試機臺的所述即時信息在所述監控頁面的步驟還包括：

顯示與所述監控裝置連線的所有測試機臺；以及

接收對于所顯示的所述測試機臺至少其中之一的選擇操作，據以決定在所述監控頁面中顯示所述即時信息的所述測試機臺。