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[發明專利]一種光學表面污染檢測清潔裝置有效

專利信息
申請號: 201610633727.2 申請日: 2016-08-04
公開(公告)號: CN106269593B 公開(公告)日: 2019-01-11
發明(設計)人: 苗二龍;方斌;武東城;彭石軍;隋永新;楊懷江 申請(專利權)人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
主分類號: B08B1/00 分類號: B08B1/00;B08B13/00;G01N21/88;G01N21/94
代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 代理人: 郝明琴
地址: 130033 吉林省長春*** 國省代碼: 吉林;22
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 光學表面 清潔裝置 光學表面污染 恒溫箱體 恒溫箱 體內 潔凈水 風扇 檢測 凝結 高精度光學元件 檢測技術領域 水溶性污染物 表面拋光 空氣接觸 微小水珠 噴嘴 成霧狀 可檢測 棉布 送風 正壓 去除 濕潤 清潔 溫暖 污染
【權利要求書】:

1.一種光學表面污染檢測清潔裝置,其特征在于,所述清潔裝置包括恒溫箱體;所述恒溫箱體內裝有潔凈水;所述恒溫箱體的一側連接有噴嘴,所述恒溫箱體的另一側安裝有風扇;所述風扇用于向所述恒溫箱體內送風,使所述恒溫箱體內保持空氣正壓;

所述恒溫箱體內部的潔凈水溫度高于所述恒溫箱體外部的環境溫度10~15℃;

所述潔凈水的體積為所述恒溫箱體的體積的三分之一;

當恒溫箱體內的濕度較大的空氣由于風扇帶來的正壓從噴嘴處噴出時,遇到溫度較低的光學平面,空氣溫度降低,空氣內的濕度發生飽和,在光學表面形成霧狀小水滴,不同的光學表面形貌展現出不同凝結結果,通過肉眼觀測并區分被檢測的光學表面污染部分和清潔部分,進而通過潔凈布對光學表面進行針對性清潔。

2.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述恒溫箱體的正面設置有溫度顯示裝置。

3.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述恒溫箱體的上部設有可以打開的蓋子。

4.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述噴嘴與所述恒溫箱體之間采用軟連接。

5.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述噴嘴的直徑為2mm-4mm。

6.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述空氣正壓為500~1000Pa。

7.如權利要求1所述的清潔裝置,其特征在于,所述風扇的轉速為2000~5000轉/分鐘。

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