[發明專利]一種光學表面污染檢測清潔裝置

有效

• 申請號: 201610633727.2
• 申請日: 2016-08-04
• 公開（公告）號: CN106269593B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 苗二龍;方斌;武東城;彭石軍;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00;G01N21/88;G01N21/94
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 郝明琴

本發明涉及光學表面檢測技術領域，具體公開一種光學表面污染檢測清潔裝置。本發明的光學表面污染檢測清潔裝置包括恒溫箱體；恒溫箱體內裝有潔凈水；恒溫箱體的一側連接有噴嘴，恒溫箱體的另一側安裝有風扇；風扇用于向恒溫箱體內送風，使恒溫箱體內保持一定的空氣正壓。本發明的清潔裝置可以讓溫暖濕潤的空氣接觸到光學表面后在光學表面凝結成霧狀微小水珠，一方面使得光學表面的污染部分肉眼可檢測，另一方面可通過干凈的棉布與形成凝結的潔凈水去除表面拋光粉等水溶性污染物，對于高精度光學元件表面的清潔具有更好的效果。

技術領域

本發明涉及光學檢測技術領域，特別涉及一種光學表面污染檢測清潔清潔裝置。

背景技術

在光學加工過程中，光學表面污染狀態的檢測和清潔一直是一個繁瑣和需要耐心的工作。特別是對于高精度的表面形貌要求為亞納米精度的光學元件，不僅是在鍍膜前和出廠前需要進行仔細檢測和清潔，在面形檢測前也需要對表面污染情況進行檢測和徹底的清潔。

傳統的檢測和清潔的方式往往需要通過人工，利用放大鏡在強光下進行檢測，然后根據污染情況進行相應的清潔工作。這種方式費事費力，而且對檢測人員的要求很高，檢測人員的經驗和眼睛的具體狀況都會對檢測結果有影響。況且檢測過程中長時間對著強光進行觀察，對眼睛損害較大，實用性較低。

超聲波清洗裝置是一種現代自動化的光學元件清洗設備，可以根據不同的污染情況，配備不同的液池，將光學元件浸入液池采用超聲方式進行清洗，并烘干。這種清洗裝置雖然能夠滿足大部分光學元件清潔要求，但是這種設備往往非常昂貴，占地面積很大，而且不同的光學元件需要配備特定的清洗籃，整個清洗過程時間長，往往需要一個小時以上，這對于光學檢測前的清潔經濟和時間成本都太高，難以滿足實際需求。

發明內容

本發明旨在克服現有技術的缺陷，提供一種光學表面污染檢測清潔裝置。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一方面，本發明提供一種光學表面污染檢測清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置包括恒溫箱體；所述恒溫箱體內裝有潔凈水；所述恒溫箱體的一側連接有噴嘴，所述恒溫箱體的另一側安裝有風扇；所述風扇用于向所述恒溫箱體內送風，使所述恒溫箱體內保持空氣正壓。

一些實施例中，所述恒溫箱體的正面設置有溫度顯示裝置。

一些實施例中，所述恒溫箱體的上部設有可以打開的蓋子。

一些實施例中，所述噴嘴與所述恒溫箱體之間為軟連接。

一些實施例中，所述恒溫箱體內部的潔凈水溫度高于所述恒溫箱體外部的環境溫度10～15℃。

一些實施例中，所述噴嘴的直徑為2mm-4mm。

一些實施例中，所述空氣正壓為500～1000Pa。

一些實施例中，所述潔凈水的體積為所述恒溫箱體的體積的三分之一。

一些實施例中，所述風扇的轉速為2000～5000轉/分鐘。

本發明的有益效果在于：恒溫箱體內的絕對濕度較大，當恒溫箱體內的濕度較大的空氣由于風扇帶來的正壓從噴嘴處噴出時，遇到溫度較低的光學表面，空氣溫度降低，空氣內的濕度發生飽和，會在光學表面形成霧狀小水滴，不同的光學表面形貌(潔凈表面、污染物部分、劃痕、擦痕等)展現出不同凝結效果，就可以很容易的通過肉眼觀測并區分被檢測的光學表面污染部分和清潔部分，進而可以通過潔凈布等方式對光學表面進行針對性清潔，大大提高了清潔效率，也滿足了就高精度光學元件表面清潔的精度要求。

附圖說明

圖1為根據本發明一個實施例的清潔裝置的立體結構示意圖。

圖2為根據本發明一個實施例的清潔裝置的側視結構示意圖。