[發(fā)明專利]尾氣過濾裝置及單晶爐真空系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610629326.X
• 申請日: 2016-08-03
• 公開（公告）號: CN107684795A
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周銳;文勇;張永輝;付澤華;王寧軍;王林
• 申請（專利權(quán)）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;C30B15/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所61214
• 代理人: 燕肇琪

1.尾氣過濾裝置，其特征在于，包括容置有過濾油的罐體(1)，所述罐體(1)上分別設(shè)有高于所述過濾油液面的進(jìn)氣口(14)和出氣口(15)，所述罐體(1)內(nèi)設(shè)有浸入過濾油內(nèi)的第一過濾部(21)和第二過濾部(22)，所述第二過濾部(22)環(huán)繞設(shè)置于所述第一過濾部(21)的周圍，且所述第二過濾部(22)位于所述第一過濾部(21)靠近所述過濾油液面的一側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾部(21)開設(shè)有多個(gè)第一過濾孔(23)，所述第二過濾部(22)開設(shè)有多個(gè)第二過濾孔(24)，所述第二過濾孔(24)的孔徑小于所述第一過濾孔(22)的孔徑。

3.如權(quán)利要求1或2所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，還包括連通于所述進(jìn)氣口(14)的過濾引導(dǎo)件(3)，所述過濾引導(dǎo)件(3)具有遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣口(14)的過濾出口部(32)，所述過濾出口部(32)浸入所述過濾油中。

4.如權(quán)利要求3所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾部(21)設(shè)置于所述過濾出口部(32)的內(nèi)側(cè)，所述第二過濾部(22)設(shè)置于所述過濾出口部(32)的外側(cè)。

5.如權(quán)利要求3所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述過濾引導(dǎo)件(3)還具有連接所述進(jìn)氣口(14)的引入部(31)，引入部(31)通過擴(kuò)徑部(33)與所述過濾出口部(32)相連，經(jīng)過擴(kuò)徑部(33)的擴(kuò)徑后使得所述過濾出口部(32)的口徑大于所述引入部(31)的口徑。

6.如權(quán)利要求1所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述罐體(1)內(nèi)的過濾油沿垂直于其液面的方向，所述進(jìn)氣口(14)位于所述出氣口(15)及所述過濾油的液面之間。

7.如權(quán)利要求1或6所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述罐體(1)包括可拆卸連接于一體的上罐體(11)和下罐體(12)，所述進(jìn)氣口(14)和出氣口(15)均開設(shè)于所述上罐體(11)，且所述出氣口(15)位于所述進(jìn)氣口(14)遠(yuǎn)離所述下罐體(12)的一側(cè)。

8.如權(quán)利要求7所述的尾氣過濾裝置，其特征在于，所述罐體(1)還具有開設(shè)于所述下罐體(12)底部的排出口(16)，所述排出口(16)上設(shè)置有氣密閥門(17)。

9.單晶爐真空系統(tǒng)，其特征在于，包括單晶爐(101)、真空泵(102)以及如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的尾氣過濾裝置，所述尾氣過濾裝置通過連接管道(103)連接于所述單晶爐(101)和真空泵(102)之間。

10.如權(quán)利要求9所述的單晶爐真空系統(tǒng)，其特征在于，還包括連接所述單晶爐(101)與真空泵(102)的旁路管道(104)，所述旁路管道(104)上設(shè)置有旁路閥門(105)。