[發明專利]透明電極板及其制造方法

在審

• 申請號: 201610608813.8
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN106855766A
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發明（設計）人: 權炅椿
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 李靜,馬強

相關申請的交叉引證

本申請要求于2015年12月8日提交的韓國專利申請第10-2015-0174169號的優先權和權益，其全部內容通過引證結合于此。

技術領域

本發明涉及透明電極板以及其制造方法。

背景技術

使用觸摸傳感器和透明發熱體的行業和技術領域需要透明的并且具有高導電性的電極材料。具體地，隨著用于顯示器的電容式觸摸傳感器的使用增長，已持續應用具有高透射率和低薄層電阻的電極材料。

通常，氧化銦錫(ITO)被用作具有高透射率和低薄層電阻的電極材料，但是ITO不適合于最近的具有改善可視度的大屏幕顯示器的趨勢。

因為銦，作為ITO的主要材料，是成本高的并且處理該材料的過程成本高，并且其機械性能不良，所以正在對最小化的使用ITO進行研究。

在該背景技術部分中公開的信息僅用于加深對本發明的一般背景的理解，并且不應被視為承認或任何形式地暗示這些信息構成本領域的技術人員已知的現有技術。

發明內容

本發明的多個方面涉及提供透明電極板中的透明電極的導電性和耐用性。

根據本發明的多個方面的透明電極板可以包括第一基板，以及放置在第一基板上并且包括第一電極和第二電極的多個第一透明電極，其中，第一電極放置在第一基板上并由銀或銅制成，并且第二電極放置在第一電極上并由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成。

第一電極的厚度可以為約1μm至約10μm。

第二電極的厚度可以為約0.02μm至約0.2μm。

彼此相鄰的第一透明電極之間可以間隔約25μm至約100μm。

根據本發明的多個方面的透明電極板可以進一步包括放置在第一基板上的多個第一虛擬電極(dummy electrode)，其中多個第一虛擬電極中的一個放置在多個第一透明電極中的兩個第一透明電極之間。

多個第一虛擬電極可以分別包括放置在第一基板上的第三電極，以及放置在第三電極上的第四電極。

第三電極可以由與第一電極相同的材料制成，并且第一電極和第三電極的厚度可以為約1μm至約10μm。

第四電極可以由與第二電極相同的材料制成，并且第二電極的厚度可以為約0.02μm至約0.2μm。

彼此相鄰的第一透明電極和第一虛擬電極可以分隔約25μm至約100μm。

根據本發明的各個方面的透明電極板進一步包括附接至第一基板的底表面的第二基板，以及放置在第二基板的一個表面上的多個第二透明電極和多個第二虛擬電極，其中多個第二虛擬電極中的一個放置在多個第二透明電極中的兩個第二透明電極之間。

多個第二透明電極可以分別包括放置在第二基板的一個表面上的第五電極以及放置在第五電極上的第六電極，并且多個第二虛擬電極可以分別包括放置在第二基板的一個表面上的第七電極以及放置在第七電極上的第八電極。

第五電極和第七電極可以由銀或銅制成，并且第五電極和第七電極的厚度可以為約1μm至10μm。

第六電極和第八電極可以由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成，并且第六電極和第八電極的厚度可以為約0.02μm至約0.2μm。

彼此相鄰的第二透明電極和第二虛擬電極可以分隔約25μm至約100μm。

根據本發明的多個方面的透明電極板的制造方法可以包括：在第一基板上形成由銀或銅制成的第一電極層；在第一電極層上形成由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成的第二電極層；并且通過使用激光器蝕刻第一電極層和第二電極層形成多個第一透明電極和多個第一虛擬電極。

第一電極層的厚度可以為約1μm至約10μm，并且第二電極層的厚度可以為約0.02μm至0.2μm。

多個第一虛擬電極中的一個第一虛擬電極可以形成在多個第一透明電極中的兩個第一透明電極之間，并且彼此相鄰的第一透明電極和第一虛擬電極可以分隔約25μm至約100μm。

根據本發明的多個方面的透明電極板的制造方法可以進一步包括：在第二基板的一個表面上順次形成第一電極層和第二電極層；通過使用激光器蝕刻形成在第二基板的一個表面上的第一電極層和第二電極層而形成多個第二透明電極和多個第二虛擬電極；并且將第二基板的另一個表面附接至第一基板的底表面。

多個第二虛擬電極中的一個第二虛擬電極可以形成在多個第二透明電極中的兩個第二透明電極之間，并且彼此相鄰的第二透明電極和第二虛擬電極可以分隔約25μm至約100μm。